第八章扫描电子显微镜与电子探针显微分析.pptVIP

第八章 扫描电子显微镜与电子探针显微分析 内容提要： 第一节 电子束与固体样品相互作用时 产生的物理信号 第二节 扫描电子显微镜的结构和工作原理 第三节 表面形貌衬度原理及其应用 第四节 原子序数衬度原理及其应用 第五节 电子探针X射线显微分析 第一节 电子束与固体样品相互作用时产生的物理信号 一束聚焦电子沿一定方向与固体样品发生相互作用，可以产生很多信号。 这些信号分别从不同侧面反映了样品的表面形貌、微区的成分和结构等微观特征。 一、电子束与固体样品作用产生的信号 1、二次电子（secondary electron，SE） 二次电子：指被入射电子轰击出来的样品原子的核外电子。 产生机理： 当样品原子的核外电子受入射电子激发(非弹性散射)，获得了大于临界电离的能量，脱离原子核的束缚，变成自由电子，其中那些处在样品表层而且能量大于材料逸出功的自由电子可能从表面逸出，成为真空中的自由电子，即二次电子。 样品上方检测到的二次电子90%来自原子外层的价电子。 二次电子的特点： ① 能量较低；一般小于50 eV，大部分只有几个电子伏特。 ② 取样深度较浅；这是因为SE能量很低，只有在接近表面大约几十nm内的SE才能逸出表面，成为可接收的信号。 （二次电子来自表面5～50nm的区域，能量为0～50 eV。） ③ 对试样表面形貌敏感。 二次电子产额随原子序数的变化不明显，主要决定于试样的表面形貌，因此主要用于形貌观察。 ④ 空间分辨率高。 产生二次电子的面积主要与入射电子的照射面积（即束斑）大小有关。二次电子的空间分辨率较高，一般可达到5～10nm。 扫描电镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。 ⑤ 信号收集效率高。 2、背散射电子（BSE） 背散射电子（也称初级背散射电子）：指受到固体样品原子的散射之后又被反射回来的部分入射电子。 （即散射角大于90°。） 产生过程：包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。非弹性背散射电子的能量分布范围很宽，可从数十电子伏特到接近入射电子的初始能量。 背散射电子的特点： ① 分析用的背散射电子信号能量较高。（主要是能量等于入射电子能量的弹性背散射电子或能量接近入射电子能量的非弹性背散射电子。） ③ 空间分辨率低于二次电子； ④ 信号收集效率低。 背散射电子用于： 1）形貌分析—来自样品表层几百nm范围 2）成分分析—产额与原子序数有关 3）晶体结构分析—基于通道花样衬度 3、吸收电子（AE） 高能电子入射样品后，其中一部分入射电子经多次非弹性散射，能量损失殆尽（假定样品有足够厚度，没有透射电子产生），最后留在样品内部，这部分电子称为吸收电子。 若把吸收电子信号作为调制图像的信号，则得到吸收电子像。 若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表(如毫安表) ，将检测到样品对地的电流信号，这个信号是由吸收电子提供的，就是吸收电流（或称样品电流信号）。 假如入射电子束照射一个足够厚度(μm数量级)的样品，没有透射电子产生，则： I0=Ib+Is+Ia 式中，入射电子电流强度I0、背散射电子电流强度Ib 、二次电子电流强度Is 、吸收电子电流强度Ia 。 对于一个多元素的平试样来说，当入射电流强度I0一定，则Is一定(仅与形貌有关)，那么Ia与Ib存在互补关系，即吸收电子像的衬度与背散射电子像相反。 吸收电子的产额同背散射电子一样与样品微区的原子序数相关。 因此，吸收电子像可以反映原子序数衬度，同样也可以用来进行定性的微区成分分析。 4、特征X射线 特征X射线：原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的一种电磁辐射。 特点： ① 代表了元素的特征能量和波长 具体来说，如在高能入射电子作用下使K层电子逸出，原子就处于K激发态，具有能量EK。当一个L2层电子填补K层空位后，原子体系变成L2激发态，能量从EK降为EL2，这时有?E＝EK-EL2的能量释放出来。 （若这一能量以X射线形式放出，这就是该元素的K?辐射。） 此X射线的波长为： 因此，辐射的X射线都有与元素对应的特征能量和特征波长。 ② 特征X射线是从试样0.5～5?m深处发出的。 ③ 可进行微区成分分析。 特征X射线的波长和原子序数之间服从莫塞莱定律： 式中，Z为原子序数，K、?为常数。 因此，利用原子序数和特征能量之间的对应关系可以进行成分分析。 5、俄歇电子（Auger electron，AUE） 样品原子的内层电子被激发形成空位后，外层高能电子回迁，释放出的能量不是以X射线的形式辐射，而是再次使原子电离，使另一个电子逸出样品表面成为二次电子，这种二次电子称为俄歇电子。 俄歇效应：原子的内层电子被激发后，随之发生的一个空位被两个空位所代替的现象称为俄歇效应。