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扩散硅压阻式压力传感器差压测量实验报告 　　实验六扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验　　一、实验目的：二、实验仪器(略)三、实验原理　　在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。平时敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥将失去平衡，给电桥加一个恒定电压源，电桥将输出与压力对应的电压信号，这样传感器的电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。四、实验内容与步骤(略)　　6．保持负压力输入P2压力零不变，增大正压力输入P1的压力到，每隔　　7．保持正压力输入P1压力不变，增大负压力输入P2的压力，从　　．保持负压力输入P2压力不变，减小正压力输入P1的压力，每隔　　9．保持负压力输入P1压力0Mpa不变，减小正压力输入P2的压力，每隔　　五、实验报告　　1．根据表6-1、6-2、6-3所得数据，计算压力传感器输入P—输出Uo2曲线。计算灵敏度L=ΔU/ΔP，非线性误差δf。　　六、实验数据处理　　1．最小二乘法计算如下所示：　　由上图可得系统灵敏度：　　S=ΔV/Δ　　W=/KPa　　由上图可得非线性误差：　　Δm=(最　　大的点)　　yFS=()mV=　　δf=Δm/yFS×　　100%=%　　2．最小二乘法计算如下所　　示：　　由上图可得系统灵敏度：　　S=ΔV/Δ　　W=/KPa　　由上图可得非线性误差：　　Δm=(最　　大的点)　　yFS=(+)m　　V=　　δf=Δm/yFS×　　100%=%　　3．最小二乘法计算如下　　所示：　　由上图可得系统灵敏度：　　S=ΔV/Δ　　W=/KPa　　由上图可得非线性误差：　　Δm=(最　　大的点)　　yFS=()m　　V=　　δf=Δm/yFS×　　100%=%　　4次试验数据总图如下　　图1　　图2　　扩散硅压阻式压力传感器压力测量　　一、实验目的：　　1、了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法、基本结构、性能及应用。　　2、掌握扩散硅压阻式压力传感器标定方法和最小二乘法误差数据处理方法及获得方法。　　二、实验仪器：　　压力传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V、±15V、NI数据采集卡、计算机等。　　三、实验原理：　　在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，摩托罗拉公司设计出X形硅压力传感器如下图所示：在单晶硅膜片表面形成4个阻值相等的电阻条，并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。　　扩散硅压力传感器的工作原理：在X形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流i，如图所示，当敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时，在垂直电流方向将会产生电场变化E????i，该电场的变化引起电位变化，则在端可得到被与电流垂直方向的两侧压力引起的输出电压Uo。　　UO?d?E?d????i　　式中d为元件两端距离。　　扩散硅压力传感器(MPX10)原理图　　实验电路如下图所示，MPX10有4个引出脚，1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V电源、4脚为Uo-；当P1P2时，输出(来自:写论文网:扩散硅压阻式压力传感器差压测量实验报告)为正；P1P2时，输出为负。　　四、实验内容与步骤：　　1、使用压力传感器模块，如图所示，接入+5V、±15V直流稳压电源，模块输出端Vo2接控制台上数显直流电压表，选择20V档，打开实验台总电源。　　2、调节Rw2到适当位置并保持不动，用导线将差动放大器的输入端Ui短路，然后调节Rw3使直流电压表200mV档显示为零，取下短路导线。　　3、检查气室和活塞是否连接紧密，将气室1、2的两个活塞退回到刻度“17”的小孔后，使两个气室的压力相对大气压均为0，气压计指在“零”刻度处，将MPX10的输出接到差动放大器的输入端Ui，调节Rw1使直流电压表200mv档显示为零。(如果调不到零请重新调节　　Rw2)　　4、打开LabVIEW程序“扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验”，在步长中输入每次采样输入电压的变化量。　　5、运行“扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验”保持负压力输入P2压力零不变，按照设定的步长增大正压力输入P1的压力，按下“采样”采集对应的电压值，经过十次采样后得到得到电压压力曲线，如图11-3所示；　　6、实验结束后，关闭实验台电源，整理好实验设备。　　扩散硅压力传感器接线图　　五、数据处理：　　1、根据实验所得数据，计算压力传感器