弱吸收多层薄膜消光系数的反演!.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ( ’ $##( ’ ， ， ， DEF )( CE ) ’ =GHGIJ $##( （ ） ###:!$8#-$##(-( #’ -!%$$:# =*= ?@A.B= .BCB= !$##( K/L ) ?KMI ) .EN ) 弱吸收多层薄膜消光系数的反演! 顾培夫 陈海星 郑臻荣 刘 旭 （浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州 !##$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $## ’ !# $##( $# 从窄带干涉滤光片的峰值透射率测量可以直接反演出弱吸收薄膜的消光系数，从而得到一种能简易而又精确 地评价多层薄膜微弱吸收的新方法 推导了弱吸收窄带干涉滤光片的吸收表达式，阐述了确定弱吸收薄膜消光系 ) 数的基本原理) 以离子束溅射的*+ , - ./, 波分复用滤光片为例，分析了这种评价方法的基本精度) $ ( $ 关键词：光学测试，离子束溅射，光学薄膜干涉滤光片，消光系数 ： ， ， ， !## $’#0 $’(1 $$(2 $#3 以方便地反演出滤光片高、低折射率膜的消光系数， 5 引 言 从而为方便而又精确地评价弱吸收多层膜的消光系 数提供了一种新的方法) 本文基于势透射率概念推 确定薄膜光学常数的一个特别有用的方法就是 导了弱吸收窄带滤光片的吸收表达式，阐述了确定 ［］ 包络线法 ，它是由多个反射的极值构成的包络线 弱吸收薄膜消光系数的基本原理，由于窄带滤光片 来反演单层膜的光学常数) 但是这种方法即使对高 间隔层膜的消光系数与滤光片峰值透射率之间具有 折射率薄膜，反演的折射率和消光系数精度都不够 极其灵敏的依赖关系，因此由峰值透射率的测量不 高，当反射率绝对误差为 # 5$ 6 时才能保证求得 难反演出膜层的消光系数) 最后，以离子束溅射的 # 7 $ 的折射率相对精度，而消光系数通常只能求到 单腔*+ , - ./, 波分复用滤光片为例，分析了这种 $ ( $ 7 数量级，更小的消光系数巳显得无能为力 更 # ) 方法反演消光系数的基本精度，表明其精度高于其 有甚者，这种方法必须专门做测试样品，且保证膜层 他现有技术，当透射率测量精度为# 5( 6 时，消光系 足够厚，如 — 个 ，这时反演的光学常数实际 7 4 ( 8 - ! 数反演的绝对精度可高达 9 #