聚二甲基硅氧烷中真空氧等离子体表面改性与键合.pdf

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2019-05-25 发布于天津
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44 6 厦门大学学报( 自然科学版) Vol.44 No. 6 2005 11 Journal of Xiamen U niversity ( Natural Science) Nov. 2005 1 1 2 2 1 1* 沈德新 , 张峰 , 张春权 , 罗仲梓 , 陈志扬 , 周勇亮 ( 1. , ; 2. , 361005) : . PDMS ( 10 Pa) , . , , ( 27 Pa) ( PDMS) . PDMS , , . , . , , , . : ; PDMS; ; ; : O 634.4 1; O 657 : A : 0438047 (2005) 0607 204 ( Lab on a chip, . , T AS) / ( 27 Pa) , PDM S , . ( ) , PDMS , . IC . , . , 1 . , , 1. 1 . : Sylgard 184 PDM S ( Dow , , Corning, ) , . : DZF6020 ( ) ; , GP082/ QZ ( , ( PDMS) , , , 27 Pa) ; XL30 [ 1, 2] ( , Philip) ; JC2000A ( ) ; . Avatar360 ( , Nicolet) 1. 2 , , . [ 3] [ 4~ 6] 1) PDM S , Sylgard 184 PDM S 10 1( PDMS , PDM S ) , , , 65 1 h. . , [ 7] 2) PDM S , [ 8] a) ; , . b) PDM S , , , ;