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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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铈掺杂氧化铝薄膜的蓝紫色发光特性!
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廖国进 闫绍峰 巴德纯
!）（辽宁工业大学机械工程与自动化学院，锦州 !!$$!）
）（东北大学机械工程与自动化学院，沈阳 !!$$$% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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应用中频反应磁控溅射技术制备了 ： 的非晶薄膜 射线光电子谱（ ）检测显示薄膜中有 生
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成 这些薄膜的光致发光峰是在 附近，它来自于 离子的 激发态向基态 的两个劈裂能级的跃迁
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发光强度强烈地依赖于薄膜的掺杂浓度，但发光峰位置不随掺杂浓度而变化. +,* - 含量和薄膜的化学成分是通过
射线散射能谱（ ）测量的 薄膜试样的晶体结构应用 射线衍射分析 俄歇电子谱用于对薄膜材料的化学组分
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进行定性分析 发射蓝紫色光的 ： 非晶薄膜在平板显示等领域有着广泛的潜在应用前景
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关键词：光致发光， ，薄膜，稀土元素
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