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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度
特性的声表面波的频散特性!
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肖 夏 尤学一 姚素英
!）（天津大学电子信息工程学院，天津 $%%%# ）
# ）（天津大学环境科学与工程学院，天津 $%%%# ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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利用声表面波（ ）的频散特性来表征超大规模集成电路（ ）互连系统中低介电常数（）薄膜的物性具有
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准确、快速、对材料无损伤等突出优点 研究了 （ ）衬底上淀积低 薄膜的分层结构中， 沿任意方向传播的
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色散关系 引入坐标变换后，单层薄膜特征矩阵从 阶降到 阶，双层薄膜特征矩阵从 阶降到 阶，大幅度提高
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了计算速度，有利于生产,-). 过程中的在线监测/
关键词：超大规模集成电路，声表面波，传输方向，频散特性
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要过程是：将理论计算的色散曲线与实验测得的色
散曲线进行拟合，确定出所测薄膜的杨氏模量 国际
!E 引 言 /
上利用此方法研究材料的机械特性多集中在金刚石
薄膜、钼膜、 、 、金刚石形态碳膜等硬度很高的
先进的 金属与低介电常数（低 ）薄膜集成 H0I H03
3@ F
［，］
的互连布线系统是超大规模集成电路（ ）向速度 薄膜材料( 1 / 近期有用)*+ 方法测量易碎、质软的
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