面向精密主动减振的洛仑兹电机及其驱动器研究-机械电子工程专业毕业论文.docxVIP

面向精密主动减振的洛仑兹电机及其驱动器研究-机械电子工程专业毕业论文.docx

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独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已 经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在文中以明确 方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名: 日期: 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留 并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授 权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采 用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□,在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名: 指导教师签名: 日期: 年 月 日 日期: 年 月 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 摘 要 洛仑兹电机是一种以洛仑兹力直接驱动的永磁直流作动器,具有结构简单、动态 响应快、线性性好等特点,被广泛地用作精密直线运动的驱动装置,如光刻机微运动 工作台的驱动电机、精密主动减振器的作动器等。洛仑兹电机通过驱动电流控制电机 阻尼力的大小和方向。论文针对一种用于 IC 制造装备的超精密主动减振器,设计了用 于主动减振器的洛仑兹电机及其驱动器。 首先,本文简要阐述了洛仑兹电机的工作原理和特点,计算出了电机的推力常数、 电感和电阻等参数。在参数计算的基础上,自行设计了一套推力常数为 68N/A 的洛仑 兹电机 其次,详细介绍了洛仑兹电机驱动器的硬件设计,包括电流调节器电路、桥式功 率转换电路、电流反馈电路、保护电路和补偿电路的设计,绘制了驱动器的印制电路 板,建立了驱动器的数学模型。研制出了驱动带宽至少为 3kHz,电流控制精度达 0.1mA,电流纹波小于 1mA 的高性能洛仑兹电机驱动器。 最后,设计出了洛仑兹电机测试平台,分别对电机的动态性能和静态性能进行了 测试。从振动传递率测试结果中得到,与被动减振相比,加入洛仑兹电机主动控制后 的减振系统的共振点处的传递率从 15dB 衰减到了-7dB。 该洛仑兹电机及其驱动器已经成功地应用到了超精密主动减振器中,并取得了良 好的效果。 关键词:洛仑兹电机 电机驱动器 数学模型 性能测试 I II II Abstract Lorentz force motor is a kind of permanent magnet DC actuator. It has the features of simple structure, fast dynamic response, linearity and has been widely used as a precision linear motion drive devices such as light micro-motion machine carved table drive motor, precision active damper actuators and so on. Lorentz motor drive directly affects the Lorentz motor dynamic and static performance by controlling the motor current which decides the magnitude and direction of the Lorentz force. This paper designed a Lorentz motor and driver used for active vibration control in ultra-precision active absorbers which are always applied in the IC manufacturing equipments. Firstly, this paper illustrated the operating principle and characteristics of Lorentz motor and demonstrated some parameters such as motor thrust constant, inductance and resistance. On the basis of the parameters calculated, a set of Lorentz motor with a thrust constant of 68N/A has been design

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