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华
华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文
摘 要
洛仑兹电机是一种以洛仑兹力直接驱动的永磁直流作动器,具有结构简单、动态 响应快、线性性好等特点,被广泛地用作精密直线运动的驱动装置,如光刻机微运动 工作台的驱动电机、精密主动减振器的作动器等。洛仑兹电机通过驱动电流控制电机 阻尼力的大小和方向。论文针对一种用于 IC 制造装备的超精密主动减振器,设计了用 于主动减振器的洛仑兹电机及其驱动器。
首先,本文简要阐述了洛仑兹电机的工作原理和特点,计算出了电机的推力常数、 电感和电阻等参数。在参数计算的基础上,自行设计了一套推力常数为 68N/A 的洛仑 兹电机
其次,详细介绍了洛仑兹电机驱动器的硬件设计,包括电流调节器电路、桥式功 率转换电路、电流反馈电路、保护电路和补偿电路的设计,绘制了驱动器的印制电路 板,建立了驱动器的数学模型。研制出了驱动带宽至少为 3kHz,电流控制精度达 0.1mA,电流纹波小于 1mA 的高性能洛仑兹电机驱动器。
最后,设计出了洛仑兹电机测试平台,分别对电机的动态性能和静态性能进行了 测试。从振动传递率测试结果中得到,与被动减振相比,加入洛仑兹电机主动控制后 的减振系统的共振点处的传递率从 15dB 衰减到了-7dB。
该洛仑兹电机及其驱动器已经成功地应用到了超精密主动减振器中,并取得了良 好的效果。
关键词:洛仑兹电机 电机驱动器 数学模型 性能测试
I
II
II
Abstract
Lorentz force motor is a kind of permanent magnet DC actuator. It has the features of simple structure, fast dynamic response, linearity and has been widely used as a precision linear motion drive devices such as light micro-motion machine carved table drive motor, precision active damper actuators and so on. Lorentz motor drive directly affects the Lorentz motor dynamic and static performance by controlling the motor current which decides the magnitude and direction of the Lorentz force. This paper designed a Lorentz motor and driver used for active vibration control in ultra-precision active absorbers which are always applied in the IC manufacturing equipments.
Firstly, this paper illustrated the operating principle and characteristics of Lorentz motor and demonstrated some parameters such as motor thrust constant, inductance and resistance. On the basis of the parameters calculated, a set of Lorentz motor with a thrust constant of 68N/A has been design
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