脉冲激光沉积梯度掺杂复合金属薄膜-物理电子学专业毕业论文.docxVIP

华中科技大学硕士学位论文摘要 华中科技大学硕士学位论文 摘要 梯度掺杂薄膜因渐变的物理、化学组分而具有渐变的有用物理、机械等结构性能， 成为新材料开发的研究热点。本论文研究了用脉冲激光沉积技术在Si(100)基片上沉积 金属掺杂薄膜的工艺过程，并对制得薄膜进行了微观生长结构和组分分析。对激光一 金属靶材作用微观机理给出了阐述，用蒙特卡罗方法模拟了质量数相差较大的二元组 分金属靶粒子在真空背景中的输运过程。 用脉冲激光对Ag、Mg、A1、Cu等靶材依次作用，发现其沉积率依次降低，发现 纯金属靶要求有较高的脉冲激光能量才可以有较高的沉积速率、膜厚并不随沉积时间 而线性增加。 ／^ f搭建了双光束．双靶沉积的分光系统，发现由于分光后单脉冲能量过低，沉积得到 ～一一—≥、 的薄膜质量不好。为此，用单光束作用于Al和Ag的单个掺杂靶材、Ag和Mg对接 旋转双靶进行了沉积实验，制得优质Al／Ag掺杂薄膜和Mg／Ag掺杂薄膜。基于以上 实验，我们认为用单光束交替作用于两个靶材也可以沉积掺杂薄膜，故设计了可以使 单光束交替作用于两个固定靶材的控制电路，在一定程度上可实现和双光束-双靶装置 、| 相同的作用。、 J 研究了激光．金属靶作用的微观机理和温度非平衡机制。用蒙特卡罗方法模拟了质 量数相差较大的Ag和A1二元金属靶粒子在真空背景中的输运过程，得出了等离子体 的宏观统计物理量。 整个研究基于脉