国家标准用区熔拉晶法和光谱分析法评价颗粒硅的规程.DOCVIP

ICS FORMTEXT 77.040 FORMTEXT H17 中华人民共和国国家标准 GB/T FORMTEXT XXXXX— FORMTEXT XXXX? FORMTEXT FORMTEXT 用区熔拉晶法和光谱分析法评价 颗粒硅的规程 FORMTEXT Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies FORMDROPDOWN FORMTEXT 草案 FORMTEXT - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX发布 FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT 实施 GB/T XXXXX—XXXX PAGE \* MERGEFORMAT 4 前言 本标准按GB/T 1.1-2009给出的规则起草的。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）归口。 本标准起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司。 本标准主要起草人： 用区熔拉晶法和光谱分析法评价颗粒硅的规程 范围 本标准规定了以单晶生长的方式，用区熔和光谱分析法评价颗粒硅的施主、受主杂质水平等的方法。 本标准适用于大小范围在200μm-3000μm，一般大小在900-1200μm的颗粒硅。 规