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分子束外延技术简介 声明：本文件中引用的来自书籍、刊物及网页中的图片的一切权利归各自的权利人所有。 吸附泵 在液氮温度下使用多孔 吸附剂吸气的真空泵 可分为内冷式和外冷式 内冷式吸附泵 低温泵（冷凝泵） 使用低于20K的金属表面对气体分子进行多分子层的吸附－－相对于气体的凝聚，可获得更低的极限压强、更大的抽速。 钛升华泵 利用化学活性金属钛在室温或者液氮温度下以化学吸附形式吸附一些化学活性的气体。 钛升华器 溅射离子泵 是一种兼用新鲜钛膜和电离机构同时对化学活性及惰性气体抽气的超高真空泵。 N S 5 kV直流电源 ＋ ＋ 磁铁 钛阴极 桶状阳极 ＋ 10－10 10－8 10－6 10－4 10－2 100 102 104 机械泵 吸附泵 Pa 涡轮分子泵 离子泵 升华泵 扩散泵 低温泵 各种真空泵的工作范围 真空的测量－－真空计 绝对真空计：直接测量气体的压强，如U型管气压计。 相对真空计：利用物理规律间接测量气体压强，如热偶规管、电离规管。 热偶规管 气体的导热与气体压强存在一定的对应关系。 规管热丝 恒流电源 加热丝 热电偶 毫伏表 接被测真空系统 DL-3型热偶规管结构及真空度校准曲线 电离规管 电子在电场中飞行时，若与气体分子碰撞，将以一定的几率发生电离，产生正离子和次电子，电子在飞行中产生正离子的几率在一定温度下正比气体压强，因此可以根据离子流的