扫描隧道显微镜与原子力显微镜.pptxVIP

原子力显微镜（扫描探针显微镜）AFM（SPM）;一、显微镜的发展;光学显微镜;Leeuwenhoek磨制的单片显微镜的放大倍数将近300倍 ;高级显微镜;1983年，IBM公司苏黎世实验室的两位科学家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer发明了扫描隧道显微镜（STM） 应用电子的“隧道效应”这一原理，对导体或半导体进行观测;STM的原理是电子的“隧道效应”，只能测导体和部分半导体 1985年，IBM公司的Binning和Stanford大学的Quate研发出了原子力显微镜（AFM），弥补了STM的不足;按经典力学的观点: 若EV。则粒子不可能穿过垒区， 仅EV。时, 粒子才糍穿过垒区。;附录：隧道效应的物理定性解释;附录： 隧道效应（一维)的数学模型;当E V。时，一维的定态薛定谔方程为 解得 ; 和 分别是x 0中的入射波和反射波， 和 分别是中的沿0 x a正方向和负方向前进的波, 是在 x a 区的透射波。 设D为透射几率，R为反射几率，可以求得： 由上式可知，即使E V。，在量子力学里，也不是所有的粒子都能穿过势垒，能通过势垒的只是入射流中的一部分，而另一部分则被势垒反射。;E V。时，薛定谔方程为 ： 解得： ; 结论：从上两式知，当E V。时，同E V 。时的情况一样，既有反射波，又有透射波，即低能粒子能穿过能量高于自身的势垒，到达势垒的另一边。隧道效应得到量子力学完美的解释。;2．工作原理;隧道电流与两金属电极的间距s及平均线衰减常数Ko的关系为 对于两块均匀金属的表面，;STM就是运用了“隧道效应”这一原理，如图： ;恒电流模式:; STM工作原理在对样品进行扫描过程中保持针尖的绝对高度不变；于是针尖与样品表面的局域距离将发生变化，隧道电流I的大小也随着发生变化；通过计算机记录隧道电流的变化，并转换成图像信号显示出来，即得到了STM显微图像。这种工作方式仅适用于样品表面较平坦、且组成成分单一(如由同一种原子组成)的情形。;恒电流模式：适用于观察表面形貌起伏较大的样品。 恒高度模式：扫描速度快，减少噪音等，不能用于观察表面起伏大于1nm 的样品。;STM的原理虽然简单，但设计和制作却十分困难。主要技术难点包括： （1）消除各种震动的影响，使探针——表面的间隙保持恒定； （2）采用特殊技术使探针——表面的间隙保持为1nm； （3）制作稳定而又能保证原子分辨率的探针针尖； （4）保证足够的扫描速度和扫描范围。;3．特点;４．STM的应用;;（2）表面电子态研究。 例如，电子密度波 （3）大气中观察生物样品。;（4）纳米尺度的加工和单原子的操纵。 STM中针尖下方的隧道电流犹如一束低能聚焦电子束，可进行毫微米刻蚀，诱导气相沉积，局域电化学反应。现已能加工成型线宽2-5nm的简单图形。 控制单个原子使其按一定规律排列组合以产生新的功能，形成新的材料或器件，是科学家们长期追求的目标之一。STM为这一目标的实现提供了有力的工具。 1991年，IBM公司的研究人员成功地用STM在Ni(110)单晶表面逐个移动Xe原子。Engler等用这一方法将原子排成了世界上最小的字母IBM。 ;用STM移动氙原子排出的“IBM”图案 ;STM优点;局限性;在STM基础上发展起来的各种新型显微镜;三、原子力显微镜;原子与原子之间的交互作用力因为彼此之间的距离的不同而有所不同，其之间的能量表示也会不同。 ;?两种操作模式：???（1）利用原子斥力的变化而产生表面轮廓为接触式原子力显微镜（contact AFM），探针与试片的距离约数个?。???????（2）利用原子吸引力的变化而产生表面轮廓为非接触式原子力显微镜（non-contact AFM），探针与试片的距离约数十到数百?。 ;硬件架构：在原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。;力检测部分：???????在原子力显微镜（AFM）的系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂