复合材料单晶生长热场系统项目可行性研究报告.doc

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复合材料单晶生长热场系统项目可行性研究报告 -- 复合材料单晶生长热场系统项目可行性研究报告 第一章 总 论 受***有限公司的委托,我们对***复合材料单晶生长热场系统项目可行性进行了研究,通过对该项目所在地区的市场、环境、交通、电力、给排水、通讯等条件进行调查,收集有关基础资料,并与建设单位交换意见,在认真调查和分析资料的基础上编制了《***复合材料单晶生长热场系统项目可行性研究报告》。 (一)项目背景 1、项目名称 项目名称:***复合材料单晶生长热场系统项目 2、承办单位概况 德山经济技术开发区***新材料有限公司属股份制企业,由湖南省星沙实业(集团)发展有限公司、蒋建纯教授共同出资成立。其中,蒋建纯教授以其拥有的居国际先进水平的专利技术作技术出资。 生产基地位于德山经济技术开发区内,占地30亩,花园式工业区,是星沙实业集团下属单位。主要从事新材料的开发及生产蒋建纯女士系中南大学粉末冶金学院、博士生导师,蒋建纯教授领导的科研队伍在该领域居于国际领先地位。新材料公司以蒋建纯教授拥有的专利知识产权技术和雄厚的研发实力为依托,通过整合人才、技术与市场优势,构筑新材料基地。新材料公司计划投资5亿元人民币,建设***复合材料200吨/年、炭/石墨材料4000吨/年的生产线,实现年工业产值2亿元人民币以上。并且新材料公司计划以此为产业基础,通过3年的时间,使公司的产品能够覆盖国内大部分或全部的硅单晶生长炉的热场系统,逐步进入国外硅单晶炉热场系统市场;努力开发新产品,扩大该新材料的应有领域,使其应有到其他的晶体生长设备及相关的高技术领域。 3、可行性研究报告编制依据 (1)《投资项目可行性研究指南》(中国电力出版社); (2)项目建议书及批复文件(批准文号); (3)合资双方签定的合资意向书及有关会议纪要; (4)业主提供的有关资料; (5)国家、湖南省、常德市国民经济和社会发展第十个五年计划; (6)常德经济技术开发区产业发展规划; (7)国家计委、建设部颁布的《建设工程项目经济评价方法与参数》; (8)其他文件、协议等。 4、项目提出的理由与过程 当今世界新材料的发展日新月异,特别是电子、通讯等相关领域发展迅猛,对硅材料需求十分旺盛。数十年以来,硅材料行业一直以“提高硅单晶的尺寸和质量”为主要目标,先后生产了4、5、6、8、12、16、18英寸硅片。据最新的《国家半导体技术(ITRS)》介绍,直径18英寸硅单晶抛光片是12英寸的下一代产品,也是未来22nm线宽的64G集成电路的衬底材料。集成电路产业是信息产业的核心,全世界以集成电路为核心的电子元器件,95%以上是硅材料制成的,其中直拉硅单晶的用量超过85%。随着超大规模集成电路集成度的迅速提高,迫切要求采用大直径的直拉硅单晶抛光片。超纯及完整晶体结构的硅晶体是一条长长的价值链的起点。没有硅晶体就没有半导体、光电子、通讯技术及光电技术。硅晶体棒用于制作晶圆,晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。硅材料的另一个大的需求来自太阳能。从长远看,世界上一半以上的能源生产要采用可再生能源。可再生资源主要有风、水、太阳能。太阳能直接转换成电能(光电效应)靠太阳能电池完成。电池的原材料是带特定晶体结构的硅。专家预测:在今后的十年,结晶硅将在太阳能电池的生产中成为在、最主要的材料。硅片工业目前在生产与市场方面已经形成了垄断,日本、德国等国的资本控制的八大硅片公司的销量占硅片总销量的90%,当前IC用主流硅片是8英寸,并向12英寸过渡。市场调研预测,到2008年,12英寸的硅片的比例将由目前的1.3%增加到21.1%。 在IC和太阳能发电等领域对硅单晶的巨大需求和消费,对其生产能力对生产技术提出了更高的要求。其中生产高纯半导体材料的高温电热真空炉——硅单晶生长炉正在向大型化、自动化的方向发展。硅单晶生长炉隔热保温筒、坩埚、发热体等热场系统元件采用高纯石墨、超高纯石墨材料制造,产品要求材料的金属杂质含量要求不超过5~30ppm。同时硅单晶生长炉最主要的易损件的消耗量特别大。根据权威部门统计,一台小型晶体生长炉(如12英寸)每年消耗的石墨坩埚、加热器、保温隔热材料的价值,达到20万元以上;一台大型晶体生长炉的热场系统备件损耗,可达50万元以上。由于生产大型高纯石墨、超高纯石墨材料工艺控制难,需要大型的等静压设备等,其投资极大。因此,高纯石墨尺寸受到限制,经常不能满足制造较大硅单晶生长炉的热场零件的要求;另外,石墨脆性大,机械强度不高,使用可靠性不强,使用寿命短。本项目提出的***复合材料单晶生长热场系统零件的材料及热场解决方案,经过实践验证,对解决以上问题起到了很好的效果。实施本案对发展大型硅单晶生长设备,制造大尺寸的晶体,提升我国微电子技术水平具有极为重大的意义。 5、项目拟建地点 本项目拟建于

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