硫系玻璃基质的微纳光子器件研究进展.PDF

激光与光电子学进展 52, 020005(2015) Laser & Optoelectronics Progress ©2015《中国激光》杂志社 硫系玻璃基质的微纳光子器件研究进展 李超然 戴世勋 吴越豪 张培晴 吕社钦 沈 祥 王训四 宁波大学高等技术研究院红外材料及器件实验室,浙江 宁波315211 摘要 硫系玻璃与石英材料相比，具有高折射率（2.0~3.5）、低声子能量（小于350 cm-1）、宽中远红外透过范围、高非 线性折射率和独特的光敏性。近年来硫系玻璃基质的微纳光子器件广受关注。从制备方法、光学特性和实际应用前 景等方面回顾了硫系玻璃基质微纳光子器件的研究历程，综述了硫系玻璃基质的微纳光子器件的研究状况，并对其 进一步的发展前景进行展望。 关键词 光学器件；硫系玻璃；微纳光波导；微纳光纤；回音壁模式微腔 中图分类号 O482.31;O431 文献标识码 A doi: 10.3788/LOP52.020004 ResearchProgressofChalcogenideGlassBasedMicro-Nano PhotonicDevices LiChaoran DaiShixun WuYuehao ZhangPeiqing LüSheqin ShenXiang WangXunsi LaboratoryofInfraredMaterialandDevices,TheAdvancedTechnologyResearchInstitute,NingboUniversity,Ningbo, Zhejiang 315211,China Abstract Comparedwithsilicaglass,chalcogenideglassespossesshighrefractiveindices(2.0~3.5),lowphoton energies (lower than 350 cm- 1), wide infrared transmission window, larger nonliner refractive indices and particularphotoinduced properties.Chalcognideglassbased micro-nano photonicdeviceshaveattracted so muchattention.Theresearchprogressofchalcognideglassbasedmicro-nanophotonicdevicesarereviewedin terms of fabrication, property and application of devices. The current situation of the study from several researchinstitutionsissummarizedandstated.Theirfurtherdevelopmentprospectisalsodiscussed. Keywords opticaldevices;chalcogenideglass;micro-nanofiber;micro-nanowaveguide;whispering-gallerymode microcavity OCIScodes 230.3990; 160.2750; 130.3120 1 引 言 微纳光子器件是指至少在一个方向上器件的尺寸相比拟于或小于光波波长的光子器件。微纳光子器 件研究的是在微米、纳米尺度上光学器件的设计、制造以及此类器件在光波的产生、传输、变换、探测和传感 等方面的应用，是目前国际上光电子领域研究的前沿和热点之一。随着20世纪70年代室温运转半导体激 光器、商用低损耗石英光纤和其他集成光子器件的研制成功，光子器件进入到了微米尺寸时代。与此同时， 随着制备技术的进步，光子器件开始由微米尺寸向亚微米，纳米尺寸发展，2003年，Koonath等[