20XX年玻璃蚀刻工艺.pdfVIP

Etching Process 1 Contents Etching IntroductionEtching Introduction Dry Etching Process Wet Etching Process Cleaning Process Introduction Summary 2 Etching Introduction (4) 曝光、顯影 (1) 基板表面平坦化 薄膜區 (5) 蝕刻（Dry or Wet ） (2) 鍍膜 黃光區