基材表面电子束蒸镀铬-铝-二氧化硅薄膜实验资料跟方资料.pptVIP

有机玻璃基材表面电子束蒸镀铬-铝-二氧化硅薄膜实验材料与方法 真空镀膜技术是一种发展迅速,应用广;泛的表面成膜技术,它不仅可以用来制备各种特殊性能的薄膜涂层(如超硬、高耐蚀、耐热和抗氧化等),而且还可用来制备各种功能薄;膜材料和装饰薄膜涂层等。真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中的一种,是把待镀膜的基体或工件置于高真空室内,通过加热使蒸发材料汽化;(或升华),以原子、分子或原子团离开熔体表面,凝聚在具有一定温度的基片或工件表面,并冷凝成薄膜的过程。电子束蒸发镀膜技术;就是其中一种比较成熟的工艺, 它主要有以下优点: (1) 电子束轰击热源的束流密度高,能获得远比电阻加热;源更大的能量密度,可以使高熔点材料蒸发,并且能有较高的蒸发速率; (2) 由于被蒸发材料是置于水冷坩埚中,因;而可避免容器材料的蒸发,以及容器材料和蒸发材料之间的反应,这就使得镀膜的纯度得以提高; (3) 热量可直接加;到蒸镀材料的表面,因而热效率高,热传导和热辐射的损失少。 电子束蒸发镀膜技术将逐渐发展成为一种主流的真空;镀膜技术。镀铝膜是采用特殊工艺在基体表面镀上一层极薄的金属铝而形成的一种材料,其中最常用的加工方法当数真空蒸镀铝法。镀铝;膜的应用非常普遍,它已被广泛地应用于食品、医药、化工等产品的包装。镀铝膜具有极佳的金属光泽和良好的反射性,具有优