三阴极离子渗镀技术及其在纯钛及钛合金上形成金属碳化物的研究-材料加工工程专业毕业论文.docxVIP

太原理工大学博士学位论文三阴极离子渗镀技术及其在纯钛及钛合金上 太原理工大学博士学位论文 三阴极离子渗镀技术及其在纯钛及钛合金上 形成金属碳化物的研究 摘要 钛及钛台金以其密度低、熔点高、强度高和耐蚀性好而成为航空、航天、火箭、 导弹、舰艇以及能源化工等工业部门的重要材料。然而，其耐磨性能不足是亟待解决 的关键问题之一。本研究是在双层辉光离子渗金属技术的基础上，以解决飞机涡论发 动机钛合金叶片减振凸台阻尼面耐磨性问题，而发展了一种新的三阴极离子渗镀表面 技术。该技术已成功地在钛及钛合金表面形成硬度较高且结合力较强的金属碳化物表 面合金层。 该技术的工作原理是，在双辉技术已有的两个阴极之间，再增加一个孔隙化空 腔阴极而形成三阴极离子渗镀系统。从空腔阴极孔隙处发出的等离子气氛，直接奔向 并作用于待渗镀表面，进而形成渗镀合金层。用固态石墨制做的空腔阴极靶提供渗镀 所需的无氢碳气氛，另一个阴极靶提供金属元素，使等离子体中同时含有形成金属碳 化物所需的成分，从而在钛材表面进行无氢渗镀形成金属碳化物。渗镀金属元素选用 w和Mo，所形成的碳化物具有高的硬度和耐磨性。 三阴极离子渗镀系统工作时，从空腔阴极孔隙处发出的等离子体中，除了可含 有多种渗镀元素的点状等离子体的基本特点外，还呈现出“Hope(源于下列英语单词 的首字母：hollow—orifice—plume—ejecting)效应”和“烧