扫描电镜及其制样技术.pptVIP

扫 描 电 镜 技 术Techniques of Scanning Electron Microscope 一、扫描电镜的基本结构与成像原理 二、扫描电镜的特点 三、扫描电镜的生物样品制备技术 （一）样品的常规制备方法 （二）特殊样品的制备方法 扫 描 电 镜 技 术 扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM） 是继光镜和透射电镜之后发展起来的一种电镜，用于观察物质表面及断面的三维形貌结构和进行微区成分分析。 1、 SEM基本结构及其作用 （１）电子光学系统　 电子枪：阴极、阳极、栅极。 阴极—通电加热后产生电子束。 阳极—加速电子束。 栅极—控制和会聚电子束流 。 电磁透镜：会聚电子束，形 成直径5~10纳米的电子束（即电子探针），照射于样品上 。 （２）检测系统 ①二次电子的来源及作用 在样品表面以下几纳米到几十纳米的区域，被入射电子（初级电子、一次电子）所激发出来的样品原子中的外层电子，称谓二次电子（次级电子）。 SEM通常是由二次电子所形成的图象来显示生物样品的表面形貌。 （２）检测系统 ② 二次电子检测系统的组成及作用 组成：检测器（二次电子探头）、光电倍增管、视频放大器。 作用：对二次电子进行收集、放大和处理，以