蒸发器支撑板板孔精密测量系统-光子学报.PDFVIP

４５ ３ 　 　 　 Ｖｏｌ．４５Ｎｏ．３ 　　　　　　　　　　　　 ２０１６ ３ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｍａｒｃｈ２０１６ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０３１２００２ ｇ ， ， ， （ ， ） ７１０１１９ ： ， ． 　 ， ； “ ”， ， ， ， ． ０．０２ｍｍ ． ： ； ； ； ； ： ； ： ： （ ） ＴＰ３９４．１ＴＨ６９１．９ Ａ １００４４２１３２０１６０３０３１２００２５ 　　　 　　　 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犲犪狊狌狉犻狀 犛狊狋犲犿犳狅狉犜狌犫犲犛狌 狅狉狋犘犾犪狋犲狅犳犛狋犲犪犿犌犲狀犲狉犪狋狅狉 犵 狔 狆狆 ， ， ， ＪＩＡＮＧＸｉｎ ＬＩＨｕａ ＺＨＵＨｕｉＬＩＵＪｉｅ （ ， ， ， ） 犡犻′犪狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犗 狋犻犮狊犪狀犱犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犲犮犺犪狀犻犮狊 犆犃犛 犡犻′犪狀７１００７２ 犆犺犻狀犪 犳 狆 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ａ ｒｅｃｉｓｉｏｎｍｅａｓｕｒｉｎ ｓｓｔｅｍ ｆｏｒｔｕｂｅｓｕ ｏｒｔ ｌａｔｅｏｆ