切线法高效微纳磨削高次非球面关键技术分析.pdfVIP

41 2系统管理软什没汁 ．． ．． 4 2机床数控加工系统软件设计．．．． ． 4 21启动助能模块没计．．．．．．．．．． 4 22非球面联动加工参数输入功能模块设计 4 23非球面联动加工主功能模块设计．．．… 4．2．4磨边加工参数输入功能模块设计．… 4．2．5磨边加工主功能模块设计． ．．．． 426磨轮修整参数输入功能模块设计 4．2．7磨轮修整主功能模块设计 42．8定位补偿调整功能模块设计… 本章小结 ．．．．．．．．．．．．．．．． ． ．．．．．．． ．．． 第五章切线法高效微纳磨削高次非球面机床空间定位误差检测．．．． 5 1非球面机床误差分析． ．．．．．．．． ． ．． 5．2切线法高效微纳磨削轴对称高次非球面机床空间定位误差检测 5．2l线性位移测量．．．．．． ．．．…．．． ． 5．22三轴联动平台直线度测量．． ．．．．．． ．． 5．23正变性测量 ．．．． ．．．．．．．．． 524回转轴测量 本章小结．． ． 结 论．．．．．．．．．．． 致 谢．．…．……．． 参考文献．．．．．．．．．．． 攻读硕士学位期间发表(或录用)的论文．．．．．一 攻读硕士学位期间申请的与论文相关的国家发明专利 拍打盯打∞M弛船M聃踮；5；弘盯卵∞∞“曲蚰蚰蚰娩田 第一章 绪 论 1 1课题背景 非球面使片J在光学系统中能够有效的修爪像差、提高系统光学性能并且可以使粘 个系统更加轻便，然而由于非球面高精度椅测及加工技术的不完善未能在光学系统中 广泛采用“…。近20年来．随着科技的屯速发展．非球面透镜在工业、军事、航空航 天和民用领域中的高精度成像仪器、光学观测系统、显示投影系统等中被大量应用。 在瞄准镜、光驱、卫星、红外望远镜、照相机、监视器等光学系统中无处不见非球面 光学元件的身影”，己成为空问光学系统、天文学和高精度测量系统不可或缺的光学器 件。 本文主要基于国家自然科学基会面上项日“切线回转法加工高次非球面光学零件 数控磨削、抛光加工设备的研制开发”(项目编号两个项目的科研工作， 致力于在保证加工非球面面型精度的同时．减小或消除零件表面的波纹误差，提高精 磨工序的加工质量，为抛光工序节省大量的时阳J．从而极大地提高轴对称高次非球面 的加工效率。 1 2光学非球面超精密加工技术研究的意义 发展独立、强大的装备制造技术是我国由“制造大国”向“创造大国”跨越的必 由之路。高分辨率观测系统、高分辨率红外望远镜、武器装备平台光学传赙系统、四 代机、载人航天与探月工程、深空探测、核聚变等国家重大科技专项和重大科学工程 均需要大量高效精密的球面、非球面和自山曲面等高质量光学元件。例如激光核聚变 系统需要数以万计的超精密近零损伤的平面、非球面零件：中大口径超精密非球面零 件制造已成为高分辨率观测系统的瓶颈所在”…：微电子领域22rim芯片制造工艺所需 的300mm硅片加工技术仍在探索中；超远程精确制导武器的高陡度非球面整流罩超精 密加工技术仅掌握在欧美少数国家手中，严重威胁我国的国家安全。这些尖端复杂光 学非球面零件的加工生产向现代超精密非球面／曲面制造工艺、装备和系统的极限性能 不断提出新的挑战”…．其高质量非球面的加工能力和水平体现了一个国家制造业的核 心竞争力。因此．歼展高精度二次、高次非球面零件数字化制造关键技术、新原理、 新工艺的研究及相关新型装备的研制将成为我国高性能复杂光学系统核心制造技术的 突破和跨越式发展提供前沿技术保证，为提升我国先进光学制造设备的自主制造能力 和创新设计水平具有重大意义。 面对高技术发展的重大需求牵引，未束IO年国际上超高精度、高性能非球面／曲 面制造发展向着零件特征极端化、加工手段多样化、加工过程确定化