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机械工程测试技术基础;第六章 位移的测量;位移测量是线位移和角位移测量的统称 位移是向量，一般情况下，应使测量方向与位移方向重合。 工程上，有些情况下，力、压力、扭矩、速度、加速度、温度、流量、物位、和尺寸等参数的测量是以位移测量为基础的。;6.1 常用的位移传感器 ;;常用位移传感器;应变片式位移传感器;差动变压器式位移传感器;光电脉冲式位移传感器;6。2 激光干涉式位移测量装置;I1;I1;等厚干涉条纹;干涉光强: I=I1+I2+2√(I1+I2) cos(??);cos(??)=1, I=Imax ? 亮条纹 cos(??)=-1, I=Imin ? 暗条纹; ??=2n(L2-L1)2?/ ? d(??)=2? (2n/?)d(L2) 在空气中n =1;激光干涉测长仪原理框图:;双频激光干涉系统;6.3光栅式数字位移传感器 1,莫尔现象 莫尔:水波状的图案 2,光栅莫尔条纹 当两块光栅以微小交角 相对倾斜重叠时，在与 光栅刻线大致垂直方向， 将出现明暗交替的条纹;现象:当两光栅相对移动时,莫尔条纹也会随着运动;光栅--- 等节距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件 长光栅:长度测量 圆光栅:角度测量 细光栅:利用光的衍射现象分析光谱、测定波长 粗光栅:利用光的莫尔条纹现象测量精密位移 计量光栅：一般采用粗光栅 透射式:玻璃基底 反射式:不锈钢等金属基底;W-栅距， a-线宽， b-缝宽;3,计量光栅莫尔条纹的成因;现象:计量光栅莫尔条纹的成因演示;机械工程测试技术基础;机械工程测试技术基础;机械工程测试技术基础;机械工程测试技术基础; 一般地，莫尔条纹方程： y=[(cos?-1)/sin?]x+n w/sin? （n=0,±1, ±2,……);机械工程测试技术基础;机械工程测试技术基础;例如：莫尔条纹的宽度B通常由光电接收器光敏面大小决定，对于10X10mm2的光电池，调节?，使B=10mm，莫尔条纹刻线50线/mm 则w=0.02mm， 由B=w /? ? ?=7? k=B/w=500;机械工程测试技术基础;机械工程测试技术基础;现象:计量光栅莫尔条纹的成因演示;莫尔条纹与光栅相对移动有对应关系、有放大作用、有误差平均效应;机械工程测试技术基础;3)光闸莫尔条纹:w1=w2，?=0，B=? 4)斜向莫尔条纹：w1与w2不相等，但???接近，?较小，兼具横向和纵向条纹的性质;条纹宽度： ;光栅莫尔条纹（Moire）的演示:光闸和纵向 ;光栅 --- 径向光栅、切向光栅、环形光栅;环形光栅;① 径向光栅的圆弧形莫尔条纹;② 切向光栅的环形莫尔条纹;③ 环形光栅的辐射形莫尔条纹;6，光栅测量技术;光栅副构成：主光栅 --- 标尺光栅，定光栅； 指示光栅 --- 动光栅; 测量方程 ：L=W M; 利用光栅检测的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件、必要的光栏及调整机构等组成。 ;下图所示是直接接收式读数头结构，这类读数头应用最广。;为了辨别动光栅运动方向，把两个光电元件1和2分别放在间隔为1/4个莫尔条纹间距的地方，如下图所示。根据两个光电元件接收到莫尔条纹信号不同（正弦波电信号相应位差1/4周期），即利用两个输出信号的相位超前或滞后就可辨明光栅运动方向。 ;信号处理框图:;6.4、激光测距系统;原理：;Keyence 三角法激光测距传感器;;应用：;厚度测量：;测量范围：16mm左右；相对测量精度：?0.1% ~ ?0.2% ;6.5回转轴径向运动误差测量;径向运动误差测量 以轴承支承孔轴线为参考坐标 两种测量方法:双向测量法、单向测量法;传感器信号的复杂性;;思考题