微机械陀螺简述,微惯性技术资料文档.pptVIP

单位 结构特点 检测机理 灵敏度 噪声/漂移 北大 谐振式 电容检测 22mv/°/s 清华 角振动 电容检测 1.9mV/°/s / 复旦 双质量块 电容驱动 压阻检测 电桥输出0.22μV/°/s / 中科院 双质量块 电磁驱动 电容检测 9.8mV/°/s 中北大学 谐振式 电容检测 0.7mV/°/s 国内微机械陀螺的特点与性能指标 从国内外发展现状来看，微机械陀螺的特点总结如下： 1、机械结构：圆环、独立梁、框架、双质量块 2、驱动方式：电容驱动的多 3、检测方式：电容检测的多 4、使用的材料：都是Si基，灵敏度mV级 5、微机械陀螺应用 微机械陀螺目前精度在10-2°/h左右，还将进一步提高到10-3 °/h。随着先进的微电子技术的发展，预计微机械陀螺的价格将会在一美元到几百美元之间。其低廉的价格使其具有广阔的应用前景，有望在一些新的领域中得到应用，如车载导航系统、天文望远镜、工业机器人、计算机鼠标，甚至是玩具上。 智能手机中 汽车中 空中无线鼠标中 数码相机中 智能机器人中 应用举例 应用前景展望 在MEMS中还存在着大量具有挑战性的力、磁、电等问题需要研究, 对这些问题的有效解决则将会加快推动微机械陀螺仪技术的发展 1、应用比重增大 2、仍然面临挑战 过去几十年内，在汽车工业需求的推动下, 微陀螺技术取得了长足进展，随着对传感器小型化、集成化的应用需求，其在应用领域中的比重将会不断增大。 表面工艺制作的微结构 体硅工艺制作的微结构 压电驱动 静电驱动电容检测 电磁驱动压阻检测 隧道效应检测 * * * * * * * 微机械陀螺是利用测量柯氏加速度实现对角速度测量的，因此从本质上说微机械陀螺也是加速度传感器。 柯氏加速度只有当线速度与转速同时存在时才会出现，因此为测量柯氏加速度需使加速度传感器跟随物体旋转的同时运动起来。实现的最简单方法就是谐振，即施加激励使加速度传感器做往复运动。 * * * * * * * * 因为柯氏力的存在使小球的运动轨迹发生弯曲，即柯氏力将小球运动轨迹拉弯了。 * * * * 实际上傅科摆是最早的陀螺仪，地球为陀螺系统，怎样将上图演化为振动式陀螺？ * 实际上傅科摆是最早的陀螺仪，地球为陀螺系统，怎样将上图演化为振动式陀螺？ * * * LOGO LOGO 微机械陀螺简述 Contents 微机械陀螺仪基本概念 微机械陀螺仪基本原理 微机械陀螺仪基本性能指标 微机械陀螺仪发展概述 微机械陀螺仪应用 1、 微机械陀螺仪基本概念 微机械陀螺特点 微机械陀螺分类 基本概念及组成 1.1 基本概念及组成 陀螺仪也称角速率传感器，是用来测量物体旋转快慢的传感器。微机械陀螺仪(MEMS gyroscope)主要有转子式、振动式微机械陀螺仪和微机械加速度计陀螺仪三种。由于工艺限制，在硅衬底上加工出可高速旋转的转子并不容易，因此转子式的微机械陀螺并不常见，而振动式和微加速度计式的微陀螺基本原理一致，都是利用柯氏效应。 目前，微机械陀螺基本都是振动式的，因此本文将着重对这类陀螺进行介绍。振动式微机械陀螺主要由支撑框架、谐振质量块，以及激励和测量单元几个部分构成。 1.2 微机械陀螺特点 MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成和角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是 优点： 1. 体积小、重量轻、功耗低。 2. 成本低，加工工艺可保证大规模生产。 　 3. 可靠性好，工作寿命超过10万小时，能承受数千甚至上万g的 冲击。 4. 测量范围大，一些MEMS陀螺仪测量范围可高达数千°/s 缺点： 目前，各种微机械陀螺的角速度测量精度相对较低， 漂移较大。 1.2 微机械陀螺特点 MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成和角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是 优点： 1. 体积小、重量轻、功耗低。 2. 成本低，加工工艺可保证大规模生产。 　 3. 可靠性好，工作寿命超过10万小时，能承受数千甚至上万g的 冲击。 4. 测量范围大，一些MEMS 陀螺仪测量范围可高达数千°/s 缺点： 目前，各种微机械陀螺的角速度测量精度相对较低， 漂移较大。 1.3 微机械陀螺分类 微机械陀螺分类 按振动结构 按材料 按加工方式 旋转振动结构 线性振