高深宽比微细结构电铸时传质过程数值分析-机械工程学报.PDFVIP

第 44 卷第 8 期 机 械 工 程 学 报 Vol.44 No. 8 2008 年 8 月 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Aug. 2008 DOI ：10.3901/JME.2008.08.195 高深宽比微细结构电铸时传质过程数值分析* 1, 2 2 2 2 明平美 朱 荻 胡洋洋 曾永彬 (1. 河南理工大学机械与动力工程学院 焦作 454000 ； 2. 南京航空航天大学机电工程学院 南京 210016) 摘要：针对高深宽比微细结构电铸时存在严重传质受限的问题，以微深槽特征为分析对象建立液相传质两种数学模型——维 扩