玻璃的激光切割技术.docVIP

玻璃的激光切割技术 玻璃的激光切割技术 1引言 激光切割技术现已成为一种成熟的T业加工技 术.金属是激光切割的主要对象,其它可以进行激 光切割的材料还有塑料,陶瓷,硅片以及玻璃等. 目前全球用于切割金属材料的激光切割设备约有几 十万台,而用于玻璃切割的激光设备包括实验室设备 在内也不过只有几十台.实际上,早在20世纪70 年代,关于激光切割玻璃的研究就已经展开.从原 理上讲,玻璃对红外激光的吸收远比金属好,而且玻 璃是热的不良导体,玻璃切割所需要的激光功率比 金属要低得多,所以玻璃的激光切割技术应该比金 属更早应用于工业生产.但玻璃的激光切割市场却 一 直没有发展起来.究其原因可能是因为玻璃的切 割比较容易,传统的金刚石刀轮或硬质合金刀轮玻 璃切割技术已经发展得很成熟,工艺简便且成本低 廉,足以满足通常的玻璃切割的要求.时至今日, 玻璃的应用日益广泛,某些方面的应用对切割质量 和切割成品率的要求非常严格,传统的玻璃切割技 术已逐渐不能满足生产的要求.如作为T兀一LCD基 板的耐高温,高硬度硼硅玻璃和用于汽车方面的钢 化玻璃等.从玻璃厚度方面而言,浮法玻璃的厚度 已经达到了20mm以上.而用于平板显示方面的玻 璃最薄已经达到0.4mm,有些应用于电子产品的玻 璃甚至达到0.05mm.过薄或过厚的玻璃采用机械 切割都会影响切割的成品率.现在人们对玻璃的激 ●付国柱 光切割技术已经研究得很透彻,激光切割的优越性 也逐渐为人们所认识.近年来已经出现了一些用于 工业生产的玻璃切割设备,如德国Grenzebach公司 的浮法玻璃在线激光切割设备:德国H2B公司的平 板玻璃切割设备:美国FononDSS公司用于平板显 示方面的玻璃激光切割设备等.玻璃的激光切割技 术与传统的切割技术相比具有很多的优越性,激光 切割出来的玻璃边缘光滑,无横向微裂,无碎片, 避免了在板材上出现划伤并且将玻璃破碎的可能性 减小到最低程度.当激光技术用于浮法玻璃生产线 的在线切割时,由于不需要二次掰边,所以原板玻 璃的利用率得到了明显提高.运用激光技术切裁1～ 25mm厚的玻璃不会产生任何应力问题,也没有任 何调节误差.此外,由于通过激光切割的玻璃耐断 裂的强度较高,所以,在许多情况下不再需要对玻 璃进行钢化处理.从应用的情况看,玻璃的激光切 割技术可能会在平板显示,汽车玻璃和浮法玻璃生 产等领域率先得到推广. 2玻璃的激光切割原理 2.1玻璃对激光的吸收 一 种材料能否进行激光加工很大程度上取决于 材料对该波长激光的吸收.图1是厚度为3.88mm 的2种玻璃的吸收光谱. 从图1中可以看出,当波长在5m以上时,玻 璃对光有非常高的吸收效率,所以波长为10.6m的 Mal2008曼. L二 激光波长/rim 图1超白玻璃和绿玻璃的吸收光谱. CO:激光器非常适用于玻璃的激光切割.事实上, 当今世界上绝大多数的玻璃激光切割设备都是采用 功率在100500W之间的封离型CO2激光器.波长 在1Ixm左右的半导体激光器和Nd:YAG激光器也 可用于激光切割,但其切割原理不同于CO:激光器. 从图1中可以看出,厚度为3,88mm的超白玻璃对 于波长约为1Ixm的激光透过率约为80%,吸收不 足20%;而绿玻璃的吸收率要高得多,约有80%. 玻璃对波长约为1Ixm的激光的吸收属于体吸收. 而对于1302激光器发出的波长为10.6m的激光, (b)CO2 f10. 图2(a1玻璃对波长在1txm左右的激光的体吸收示意 图;(b1玻璃对波长为10.6txmCO.激光的表而吸 收示意图. 鱼卜 由于玻璃的高吸收效率,其进入玻璃表面的深度不 足几十微米,在玻璃表面就被完全吸收. 玻璃的激光切割技术在原理上不同于金属的激 光切割.玻璃的激光切割是一种应力切割方式通过 玻璃对激光的吸收,局部急剧升温产生应力,应力 变化产生裂纹从而导致玻璃沿着激光扫描方向开裂. 在切割过程中要严格控制温度的上升不能达到玻璃 的软化点.而金属的激光切割则采用的是熔融切割 方式.在玻璃激光切割研究的早期采取的也是熔融 切割方式,但切割效果并不好,切割后的边缘还需 要进行后处理.所以现在玻璃的激光切割方式都是 采用应力切割. 1.2CO.激光器的玻璃切割工艺 现在用于玻璃激光切割的激光器大多采用封离 型CO2激光器,输出功率在100500W之间.这个 功率区间的CO:激光器技术已经非常成熟,可以选 择的产品很多.例如,Coherent公司的K一150型激 光器,外型尺寸只有99mmx20mmx16.5mm.重量 只有94kg,使用寿命超过10000h,集成简单,操 作方便,使用起来就象高功率灯泡一样简单.板条 放电的封离型130:激光器有2个适于此应用的重要 特点.首先,这种激光器光束质量好,聚焦特性高, 可以