电子显微分析.pptxVIP

1 课堂小议 根据电子与固体物质相互作用体积，我们可知下列哪种物理信号能量最低。 A 二次电子 B 透射电子 C 背散射电子 D 俄歇电子 2 课堂小议 原子对电子的散射包括 A 原子核对电子的非弹性散射 B 原子核对电子的弹性散射 C 核外电子对电子的非弹性散射 D 核外电子对电子的弹性散射 3 课堂小议 下列哪些因素可以影响电子与样品相互作用体积范围？ A 试样原子序数 B 入射电子的能量 C 电子束入射方向 D 试样质量 4 课堂小议 下列关于电子束与样品相互作用体积叙述正确的是 A 背散射电子与二次电子从本质上是一样的，均是被电子束轰击出来并离开样品表面的核外电子。 B 二次电子能量高于背散射电子 C 二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系 D 背散射电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系 5 课堂小议 B（z） 透镜中心 右图是电磁透镜的轴向磁场强度分布图，请据图选择哪一条曲线代表了极靴磁透镜？ A 蓝线 B 黑线 C 红线 6 4.4 透射电镜（TEM） 透射电镜是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜，是材料科学研究的重要手段，能提供极微细材料的组织结构、晶体结构和化学成分等方面的信息。透射电镜的分辨率为0.1～0.2nm，放大倍数为几万～几十万倍。 照明源为波长极短的聚焦电子束 试样为对电子束透明的薄膜样品（几十纳米） 成象信号为透射电子 7 4.4.1 工作原理 电子枪产生的电子束经1～2级聚光镜后均匀照射到试样上的某一观察微小区域上，入射电子与试样物质相互作用，由于试样很薄，绝大部分电子穿透试样，其强度分布与所观察试样区的形貌，组织，结构一一对应。 将电子信号转变为人眼可见的光信号 阴极发射电子阳极加速聚光镜会聚作用样品物镜放大中间镜放大投影镜放大荧光屏成像照相记录 8 4.4.2 透射电镜的结构 电子光学系统 真空系统 电源系统 操作控制系统 9 电子光学系统（镜筒） 镜筒一般是直立积木式结构. 顶部是电子枪,接着是聚光镜,样品室,物镜,中间镜和投影镜,最下部是荧光屏和照相装置. 照明系统、成像放大系统及图像观察记录系统。 10 照明系统 样品室 成像系统 观察和记录系统 1. 照明系统：由电子枪和使电子束会聚的聚光镜(调节装置)。 作用是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 亮度—由电子发射强度决定 大小—主要由聚光镜的性能决定。 11 电子枪 是TEM的电子源。通常用的是热阴极三极电子枪（由发叉式钨丝阴极、控制栅板和阳极组成） 电子枪的作用：控制由电子源产生的电子束，并将其导入照明系统 12 热电子枪示意图 栅极的作用：改善阴极发射电子的稳定性。 在栅极上施加比阴极负几百至近千伏的偏压，其电位大小决定了阴极和阳极之间等电位面分布与形状，从而控制阴极的电子发射电流。即限制阴极尖端发射电子的区域，改善阴极发射电子的稳定性。 13 双聚光镜照明系统光路图 由于电子枪直接发射出来的电子束的束斑尺寸较大，且相干性较差，因此，为了更有效的得到亮度高，相干性好的照明电子束，由电子枪出来的电子束还要经过进一步的处理，以得到较好的照明束。 双聚光镜系统（对电子束进行校正！） 通过聚光镜系统的校正处理，可以得到亮度高，相干性好的照明电子束。 14 电子束平移、倾斜装置 为满足明场，暗场成像的需要，照明束可以较小范围内倾斜，以便以某些特定的倾斜角度照明样品。 TEM成像模式的选择! 15 2. 成像系统 主要由 物镜 1～2个中间镜 1～2个投影镜 组成 16 成像系统 --物镜 物镜是成像系统的第一级放大透镜，形成第一幅电子像或衍射谱。 承担了物到像的转换并加以放大的作用，TEM分辨率的高低主要取决于物镜。 物镜光栏在后焦面附近，挡掉大角度散射的非弹性电子，以减小物镜的球差与色差！ 物镜的分辨率主要决定于极靴的形状和加工精度。一般，极靴的内孔和上下极靴之间的距离越小，物镜的分辨本领也就越大。 通常采用强激磁、高放大倍数（100～300倍）、短焦距的物镜 17 成像系统--中间镜 用于选择成像或衍射模式和改变放大倍数。 当中间镜物面聚在物镜的像面上时，则将图像进一步放大，成像操作。 当中间镜散焦物面取在物镜后焦面时，则将衍射谱放大，在荧光屏上会得到衍射花样，电子衍射操作。 中间镜：是长焦距、可变放大倍数（0～20倍）的弱磁透镜。 18 成像系统--投影镜 作用：把经中间镜放大（或缩小）的像（电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上。 是短焦距、高放大倍数的强磁透镜 19 物镜、中间镜，透镜是以积木方式成像，即上一透镜的像就是下一透镜成像时的物，也就是说，上一透镜的像平面就是下一透镜的物平面，这样才能保证经过连续放大的最终像是一个清晰的像。