聚合物阵列波导光栅的制作技术-发光学报.PDF

27 3 Vol127 No13 2006 6 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE Jun. , 2006 : 1000-7032( 2006) 03-0 13-0 聚合物阵列波导光栅的制作技术 1, 2 1 1 1 1 3 张国伟 , 鄂书林 , 邓文渊, 许英朝, 唐晓辉, 张大明 ( 1. , 130033; 2. , 1000 9; 3. , 130021) : AW G, , AW G, 100 nm , , , , 1. 307 nm 2 . 56 nm : ; ; : TN929. 1 PACC: 280F; 280L : A R IE 1 引 言 , R IE , , , (W DM ) , , [ 1~ ] , , / ( OADM ) [ 6] ( OXC) , RIE , ( A rrayed w aveguide grating, , , AWG) , 2 实 验 , , 0. 8% , , AW G , 32 @ 32 , AWG , , 1. 550 , Lm , 0. 8 Lm [ 5] 3 结果与讨论 ( R IE) R IE 3. 1 AW G , 1, : 2005-12-01; : 2006-0 -23 : (C03Q 1 Z); ( 05GG 13) : ( 1981- ), , , , E-m ail: zhangguow ei99@ sina. com, Tel: 138 055 70 1 27 , , 100 nm Talystep