聚焦光在亚表面损伤介质中的散射特性=∫N0∫M-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 26 9 Vol.26 No.9 年 月 , 2014 9 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Se. 2014 p 聚焦光在亚表面损伤介质中的散射特性* , , , , , , 田爱玲 田玉珺 王春慧 潘永强 王红军 刘丙才 朱学亮 ( , ) 西安工业大学 陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室 西安 710032 : , , 摘 要 针对光学元件的亚表面缺陷 结合基于激光共焦层析的亚表层检测方法 建立聚焦光束在亚表 , , 面损伤介质中的传输模型 并采用有限元分析方法 仿真研究 玻璃光学元件亚表层缺陷对聚焦光束的散射 K9 , , 、 、 调制特性 特别对颗粒状和微裂纹两类特殊缺陷的光学调制特性进行研究和分析 探索了波长 缺陷大小 缺陷 , 折射率及缺陷方向对聚焦光束散射特性的影响规律 通过分析包含亚表面损伤缺陷信息的光场分布图和强度 , , 。 变化曲线 获得了亚表面损伤缺陷的信息 并对其进行评价 : ; ; ; ; 关键词 亚表面损伤 有限元法 聚焦光束 光散射 光学元件 中图分类号: 文献标志码: : / TN012 A doi10.11884HPLPB201426.091021 、 、 , 亚表面缺陷直接影响到光学元件的使用性能 长期稳定性 抗激光损伤阈值及寿命等重要功能指标 因此 [ ] 1-4 , 。 必须对其进行有效检测 从而有效减少或消除在加工过程中产生的亚表面损伤 非破坏检测方法由于具有 、 , 。 , 速度快 精度高等优点 因而得到广泛关注 作为最重要的非破坏检测方法 光散射法的本质