三氯氢硅生产路线及反应器形式的选择.pptVIP

三氯氢硅生产路线及反应器形式的选择 目录 1. 三氯氢硅简介 2. 三氯氢硅工艺路线 3. 反应器形式说明 1. 三氯氢硅简介 三氯氢硅 别名：硅氯仿、硅仿、三氯硅烷 用途：单晶硅原料、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。 理化性质　分子量：135.43 沸点(101.325kPa)：31.8℃；液体密度(0℃)：1350kg/m3；相对密度(气体，空气=1)： 4.7；蒸气压(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa；燃点：-27.8℃；自燃点：104.4℃；闪点：-14℃；爆炸下限：9.8%；毒性级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：2 三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2、HCl和Cl2： 　　SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2； 三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。它的热稳定性比二氯硅烷好，在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾(HCl)，还生成Cl2和Si。 遇潮气时发烟，与水激烈反应: 2SiHCl