第6章压电式传感器2014.ppt

第六章 压电式传感器 本章具体介绍有关压电式传感器方面的理论知识及结构和应用。 学时数3-6学时。 §6-１ 压电效应及材料 高分子压电材料 将高分子压电电缆埋在公路上，可以获取车型分类信息（包括轴数、轴距、轮距、单对轮胎）、车速监测、收费站地磅、闯红灯拍照、停车区域监控、交通数据信息采集（道路监控）及机场滑行道等 将两根高他子压电电缆相距若干米，平行埋设于柏油公路的路面下约5cm，可以用来测量车速及汽车的载重量，并根据存储在计算机内部的档案数据，判定汽车的车型。 §6-２ 压电方程及压电常数 §6-３等效电路和测量电路 §6-4 影响压电式传感器工作性能的主要因素 §6-5 压电式传感器及其应用 二、压电式加速度传感器（计） （一）结构类型 压缩型加速度传感器的结构 1．压缩式： 质量块和弹性元件通过中心螺栓固紧在基座上形成独立的体系，以与易受非振动环境干扰的壳体分开，具有灵敏度高、性能稳定，频响好，工作可靠等优点，但基座的机械和热应变仍有影响。有正装中心压缩式、反装中心压缩式等四种。 2．剪切式 其压电效应以压电陶瓷为佳，且理论上不受横向应变干扰和无热释电输出，故剪切型压电传感器多采用极化压电陶瓷作为压电转换元件。 (1)环形剪切型加速度传感器 (2)三角剪切型加速度传感器 (3)H剪切型加速度传感器 3．复合型 泛指具有组合结构、差动原理、组合一体化或复合材料的压电传感器。 例如：三向加速度传感器 （二）工作原理与特性 运动方向 2 1 3 4 5 纵向效应型加速度 传感器的截面图示意图 例：压电式加速度传感器 其结构一般有纵向效应型、横向效应型和剪切效应型三种。纵向效应是最常见的,如图。 压电陶瓷4和质量块2为环型，通过螺母3对质量块预先加载，使之压紧在压电陶瓷上。测量时将传感器基座5与被测对象牢牢地紧固在一起。输出信号由电极1引出。 当传感器感受振动时，因为质量块相对被测体质量较小，因此质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力，此力F＝ma。同时惯性力作用在压电陶瓷片上产生电荷为 q＝d33F＝d33ma 此式表明电荷量直接反映加速度大小。其灵敏度与压电材料压电系数和质量块质量有关。为了提高传感器灵敏度，一般选择压电系数大的压电陶瓷片。若增加质量块质量会影响被测振动，同时会降低振动系统的固有频率，因此一般不用增加质量办法来提高传感器灵敏度。此外用增加压电片数目和采用合理的连接方法也可提高传感器灵敏度。 振动存在于所有具有动力设备的各种工程或装置中，并成为这些工程装备的工作故障源以及工况监测信号源。目前多数采用压电加速度传感器作为这种振动的监控检测。 电荷灵敏度 或电压灵敏度 提高灵敏度的办法：A．选用较大的m，但由此带来对被测对象的影响，应尽量避免；B．采用较大压电常数d的材料或多晶片组合。 1．工作原理 2．动态特性 k为压电器件的弹性系数，　　　被测加速度， 为m的绝对位移。或整理成 幅频特性： 揭示线性变换的条件，简化成质量块的动力学方程： 压缩型压电加速度传感器的结构原理图 压电式加速度传感器的频响特性 式中 k为静态灵敏度，等于静态输出与输入之比，即 （静态时方程　　　　　　） 故 设压电常数d33，压电器件受惯性力F作用后产生的变形，F=ky，由此产生的压电效应 故 考虑传感器接入两种测量电路的情况： B．接入增益为A： 为由电压放大器回路角频率决定的。 A．接入反馈电容为Cf的高增益电荷放大器： 图（b）中，等效电阻R为 Fm——作用力的幅值 压电元件所受作用力 C=Cc+Ci 而 等效电容为 若压电元件材料是压电陶瓷，其压电系数为d33，则在外力作用下，压电元件产生的电压值为 Um——电压幅值 Ui的幅值Uim为 输入电压与作用力之间的相位差φ为 令τ=R(Ca+Cc+Ci)，τ为测量回路的时间常数，并令ω0=1/τ，则可得 由图(b)可得放大器输入端的电压Ui，其复数形式为 但是，当被测动态量变化缓慢，而测量回路时间常数不大时，会造成传感器灵敏度下降，因而要扩大工作频带的低频端，就必须提高测量回路的时间常数τ。但是靠增大测量回路的电容来提高时间常数，会影响传感器的灵敏度。 可见，如果ω/ω0>>1，即作用力变化频率与测量回路时间常数的乘积远大于1时。前置放大器的输入电压Uim与频率无关。一般认为ω/ω0≥3，可近似看作输入电压与作用力频率无关。这说明，在测量回路时间常数一定的条件下，压电式传感器具有相当好的高频响应特性。 根据传感器电压灵敏度Ku的定义得 因为ωR>>1，故上式可以近似为 结论和措施：Ku与回路电容成反比，增加回路电容必然使Ku下