透射电镜原理教案.pptVIP

 1.2.3有效放大倍数 光学显微镜必须提供足够的放大倍数，把它能分辨的最小距离放大到人眼能分辨的程度。相应的放大倍数叫做有效放大倍数，它可由下式来确定： 按加速电压分类： 200KV为低压透射电镜 加速电压 200~400KV为高压透射电镜 400KV为超高压透射电镜 按照明系统分类： 普通透射电镜和场发射透射电镜 按成像系统分类： 低分辨率透镜和高分辨率透镜 JEM-2100透射电镜外观图 分析型透射电子显微镜 透射电镜的总体工作原理 由电子枪发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑，照射在样品室内的样品上； 透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，样品内致密处透过的电子量少，稀疏处透过的电子量多； 经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像，最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上； 荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，习惯通称为“电子枪”。 会聚电子束；控制电子束电流大小，调节像的亮度。 电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的亮度、图像稳定度和穿透样品的能力。 （1）阴极 电子源：在真空中通电加热后使从阴极发射的电子有较高的动能形成定向高速电子流。 热电子发射：金属(W)或单晶硼化物(LaB6)加热到高温时(2800K)，发射出热电子……. 场发射：把单晶钨做成细的尖端（发射体），尖端表面在强的电场作用下（如107V/cm），电子被拔出… 场发射分为冷场发射和热场（肖特基）发射 （3）阳极 加速从阴极发射出的电子，使电子获得较高的动能形成高速电子流，又称加速极。 为了操作安全，一般是阳极接地，阴极带有负高压。 -50~200kV 聚光镜的作用是会聚电子枪发射出的电子束，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般采用双聚光镜系统. 2.1.2样品室 2.1.3成像系统 2.2真空系统 避免电子和气体分子相遇，防止干扰 减小样品污染 延长灯丝寿命 2.3电源及控制系统 提供透镜组件线圈的电流电压 保证电流电压稳定，防止因电压波动引起色差，从而影响分辨率 提供各种操作模式的选择和切换 提供系统的预警和自动保护装置 1.电子与物质的相互作用： 3.1成像过程 透镜的成像过程一般可分为两个过程： 第一个过程是平行电子束遭到物的散射作用而分散成各级衍射谱，即由物变换到衍射谱的过程； 第二个过程是各级衍射谱经过干涉重新在像平面上汇聚成诸像点，即由衍射重新变换成物（放大了的物）的过程。 3.3透射电子显微像的衬度来源及分类 透射电子显微镜成像实际上是透射电子束强度分布的记录，由于电子与物质相互作用，透射强度会不均匀分布，这种现象称为衬度，所得的像称为衬度像。 透射电镜的衬度来源于样品对入射电子束的散射。可分为： 振幅衬度 质厚衬度 ：非晶样品衬度的主要来源 衍射衬度 ：晶体样品衬度的主要来源 相位衬度 ：仅适于很薄的晶体试样(≈100?) 3.3.1 相位衬度 由合成像的透射波和衍射波之间的相位差形成的，成为相位衬度。需要在物镜的后焦面上插入大的物镜光栅，使以上两个波干涉形成像。 3.3.2 振幅衬度 振幅衬度是由于入射电子通过试样时，与试样内原子发生相互作用而发生振幅的变化，引起反差。振幅衬度主要有质厚衬度和衍射衬度两种。 ① 质厚衬度 由于试样的质量和厚度不同，各部分对入射电子发生相互作用，产生的吸收与散射程度不同，而使得透射电子束的强度分布不同，形成反差，称为质-厚衬度。 质厚衬度原理：衬度主要取决于散射电子（吸收主要取于厚度，也可归于厚度），当散射角大于物镜的孔径角α时,它不能参与成象而相应地变暗.这种电子越多,其象越暗.或者说,散射本领大,透射电子少的部分所形成的象要暗些,反之则亮些。 注意 只有晶体试样形成的衍衬像才存在明场像与暗场像之分。 它不是表面形貌的直观反映，是入射电子束与晶体试样之间相互作用后的反映。 该系统由荧光屏、照相机和数据显示等组成。这部分的主要作用是提供获取信息，一般由荧光屏，照相机，数据显示等组成。 2.1.4图像观察和记录系统 图5.分析电镜图像观察与记录系统结构示意图 由机械泵，扩散泵，控制阀门和仪表组成，它的作用