现有陶瓷基板制造技术.pptVIP

* (b) Al2O3碳热还原法： Al2O3 + N2 + 3C → 2AlN + 3CO 两步完成: 第一步由C还原生成气相中间产物Al(g)、Al2O (g)；第二步氮化生成AlN； 常加入CaO、CaF2、Y2O3等作为催化剂；有效地降低活化能，提高反应速率； 加适当过量的碳，既能加快反应速率，提高转换率，也有助于控制粉末团聚，获得理想的粒径分布； AlN粉的纯度较高，成型和烧结性能都比较好； 缺点：合成温度高，反应时间长，颗粒度比较大。 Al2O3碳热还原机理： C还原Al2O3 Al2O3(s) + 3C(s) ? 2Al(g) + 3CO(g) Al2O3(s) + 2C(s) ? Al2O(g) + 2CO(g) 2Al(g) + N2(g) ? 2AlN(s) [或 Al2O(g) + N2(g) + C(s) ? 2AlN(s) + CO(g) ] Al2O3分解 2Al2O3(s) ? 4Al(g) + 3O2(g) 2C(s) + O2(g) ? 2CO(g) 2Al(g) + N2(g) ? 2AlN(s) CO还原氧化铝 Al2O3(s) + 2CO(g) ? Al2O(g) + 2CO(g) Al2O(g) + 2CO(g) + N2(g) ? 2AlN(s) + CO(g) * * (c) 气溶胶(