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2019-05-24 发布于山东
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制程真空系统.pptx

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~第二单元~ 制程真空系统制程真空系统系统目的 ?移除系统内气体、创造具真空度之空间需求设备 ?真空机 (真空泵) 质量要求(各厂略有不同) ?系统末端真空度高于25.0 inHg 制程真空系统压力单位 ?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr 大气压力 ?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr 绝对压力 ?表压力+大气压力真空度 ?负压力单位or压力单位(vac) 制程真空系统真空系统流程图制程真空系统真空机组成制程真空系统真空机工作流程空气部份润滑油部份制程真空系统真空机表件/图控点/附属组件制程真空系统真空机~入口导引阀真空开关设定：下限?-26.0inHg 上限?-28.0inHg 设备启动(真空度小于26.0inHg vac) 真空度大于26.0inHg(vac) 小于28.0inHg(vac) (重载) 真空度大于28.0inHg(vac) (轻载) 制程真空系统真空机~油温控制器制程真空系统主电源回路/控制回路制程真空系统主电源回路/控制回路制程真空系统控制回路制程真空系统控制回路~Local/Cont ~敬请指教~