宽带多模干涉型光耦合器的设计及优化-电子科学与技术专业论文.docxVIP

上海交通大学 上海交通大学 上海交通大学 上海交通大学 万万 万万数据 万方数据 万方数据 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全 了解学校有关保留、使用学位论文的规定， 同意学校保留并向国家有关部 门或机构送交论文的复印件和电子版 ， 允许论文被查阅和借阅。 本人授权上海交通大学口j 以将本学位论文的 全部或部分内容编入有关数据库进行检索 ，可以采用影印、缩印或扫 描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密口 ，在 年解密后适用本授权书 。 本学位论文属于 不保密v( (请在以上方框内打 .J ) 学位论时签名 :佩带f H期:泣。14- 年二-月{ 。日 1 11 学位论文原创性声明 本人郑重声明 : 所呈交的学位论文 ，是本人在导师的指导下 ，独 立进行研究工作所取得的成果 。除文中己经注 明引用的内容外 ，本论 文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写 过的作品成果 。对本文 的研究做出重要贡献的个 人和集体 ，均己在文中以明确方式标明。本 人完全意识到本声明的法律结果 由本人承担。 学位论文作者签名 : 名数弯 日期: 立D I牛 年 L 月 (σ 日 IV 上海交通大学 上海交通大学 上海交通大学 上海交通大学 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定， 同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版， 允许论文被查阅和借阅。本人授权上海交通大学可以将本学位论文的 全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫 描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密□，在 年解密后适用本授权书。 本学位论文属于 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 III 学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独 立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论 文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文 的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本 人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 IV 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 宽带多模干涉型光耦合器的设计及优化 摘 要 近年来，随着人们对于光信息处理需求的不断增加，硅基光子学 由于其取得的重要突破，成为了目前研究的热点领域之一。基于自映 像效应的多模干涉（MMI）型光耦合器具有结构简单，插入损耗低， 制作工艺容差大等诸多的优势，因而被广泛应用于光耦合、光分束， 以及其它的功能器件中。但多模干涉器件由于使用模式干涉原理，其 器件的性能与工作波长相关，通常工作带宽在几十纳米。 本文从多模干涉光耦合器的结构特点以及工作原理出发，分析了 其自映像效应的一般成像规律。随后重点研究了波长的变化对于器件 性能产生的影响情况，总结出限制 MMI 耦合器带宽的主要原因有两 点：其一是成像位置会受到波长的影响；其二是由于计算的近似带来 的误差导致成像性能的降低。 基于上述的分析结果，我们提出了三类可以提高 MMI 结构带宽的 设计思路，并且对于这几类结构进行了仿真验证。仿真的结果与之前 原理分析十分吻合，在采用提高带宽的结构之后，对比于原始 MMI 结 构 60nm 的 1dB 附加损耗带宽，几类结构均有不同程度的提高，提高 幅度从 80nm 至 150nm 不等。随后，我们将几类提高带宽的结构相互 结合，优化得到了一个带宽更高的 MMI 器件，其 1dB 带宽为 300nm， 是常规结构带宽的 5 倍。 最后，我们对宽带 MMI 耦合器的应用进行了举例说明。许多现有 的光器件可以利用宽带 MMI 结构对于一定范围内波长性能稳定的特 性对其结构进行优化改进，从而提高器件的性能。 关键词：硅基光子学、多模干涉型器件、光无源器件 I RESEARCH ON OPTICAL BANDWIDTH IMPROVEMENT OF MULTIMODE INTERFERENCE DEVICES ABSTRACT In recent years, with the rapid growth of requirements on optical information processing, people are paying more attention to silicon photonics due to significant breakthroughs they have made. Multimode interference (MMI) couplers based on self-imaging eff