一种制备单分散超小粒径氧化硅颗粒的新方法.pdf

第18卷第l期 功能材料与器件学报 V01．18，No．1 0FFUNC7n0NALMATERIALSANDDEVICES 2012年2月 J0uRNAL Feb．，2012 文章编号：1007—4252(2012)01—0030—05 一种制备单分散超小粒径氧化硅颗粒的新方法 张磊1’2’3，刘卫丽1”，宋志棠1’2 (1．中国科学院上海微系统与信息技术研究所， 信息功能材料国家重点实验室，纳米技术研究室，上海200050； 2．上海新安纳电子科技有限公司，上海201506；3．中国科学院研究生院，北京100049) 摘要：在氨水催化水解正硅酸乙酯(TEOS)过程中，采用一种新方法制备了单分散的超小粒径氧化 硅。加入聚乙烯吡咯烷酮(PVP)能够有效的减小氧化硅颗粒的粒径大小，氧化硅粒径随着PVP的 增加而减小。通过优化工艺参