扫描声学显微技术——原理与应用.pptVIP

扫描声学显微鏡Scanning Acoustic Microscopy ——原理与应用 1.超声波基础 超声波指的是频率高于20KHz的声波，超过10MHz的超声波不能穿透空气。（检测中应用的超声波频率通常超过10MHz。） 扫描声学显微中利用到的主要优点： 能在液体或固体材料中自由传输； 声波会在材料界面，内部缺陷或材料变化的地方发生反射； 能够聚焦，能够沿直线传输； 对材料非破坏性。 材料的声学特性 密度(? ) 声速(C) 声阻(Z) Z= ? C 2.声学扫描显微镜工作原理 根据超声波的反射与传输特性，基本的声扫模式如左图所示： 脉冲反射方式 透射方式 3. 声扫应用范围 超声波的特性决定了声扫的应用范围： 不同材料间的界面粘接情况； 材料内部的空洞、裂纹、夹杂及材料的不均匀性； 材料特性分析(声阻分析)。 具体到元器件检测方面，可以进行以下内容的检测： 4.声扫模式 A-模式扫描 发射的超声脉冲保持在样品的某处位置，聚焦在检测深度上，从这点深度上的反射波得到信息。 A模式扫描是对一个点反射波形的分析，是构成脉冲反射扫描的基础。 A-模式扫描——聚焦 声学显微镜的聚焦与光学显微镜的聚焦类似，通过改变检测点与声学探头的位置来实现最优化的对焦。 当对焦达到最优化时，反射信号的幅度达到最大。 A-模式扫描——回波正负性 C-模式扫描 发射的超声脉冲在Z方向上聚焦，在X方