硫化氢气体传感器的制备-光学工程专业论文.docxVIP

摘 摘 要 I I 摘 要 硫化氢气体是一种无色、易燃、腐蚀性、具有臭鸡蛋气味的恶臭气体。它是 一种神经毒剂，当浓度超过一定范围时对人体健康有致命危害。硫化氢的巨大危 害，使得在工业生产和日常生活中对其进行检测具有重大的意义，同时能够对硫 化氢气体进行快速和准确的检测一直是国内外研究工作者的重大课题。本论文研 究了基于不同敏感材料的硫化氢气体传感器的制备方法，测试了传感器的气敏性 能，主要工作总结如下： 1. 本论文中选择的是叉指结构的电阻式气体传感器。采用了两种类型的敏感 材料，一种是碳纳米管及其氯金酸掺杂的碳纳米管复合材料；一种是有机物/碳纳 米管的复合材料，有机物分别是聚苯胺和 DPPD。实验采用气喷工艺沉积敏感薄膜， 制备了基于本征碳纳米管、MWNTS/HAuCl4、PANI/MWNTs、DPPD/MWNTs 复合 膜的传感器，通过搭建气敏测试平台在室温下测试了这四种传感器对硫化氢气体 的气敏特性。 2. 室温下测试并分析比较了基于本征碳纳米管和 MWNTS/HAuCl4 复合膜的 传感器对硫化氢气体的不同气敏特性。实验结果表明，MWNTS/HAuCl4 复合膜对 H2S 的响应远大于本征碳纳米管的响应。这两种基于碳纳米管的传感器具有良好的 快速响应—恢复特性、重复性、稳定性均较好，MWNTS/HAuCl4 复合膜略差，基 线漂移稍微严重些。同时，这两种传感器都是较理想