微机电系统（MEMS）定义、应用及发展.pptVIP

一、微机电系统的定义、构成和特点 二、微机电系统的工程应用 三、微机电系统的发展 1.微机电系统的术语及定义 2.微机电系统的构成 3.微机电系统的特点 微机电系统这一新技术在国际上尚未有统一的名称。美国在这一方面的研究是在半导体集成电路工艺技术的基础上延伸和拓展而来的，故称之为微机电系统 (Micro Electro Mechanical System, MEMS)；欧洲称之为微系统（Micro System），这一称谓更强调系统的观点，即将多个微型化的传感器、执行器、处理电路等元部件集成为一个智能化的有机整体；在精密机械加工方面有传统优势的日本则称之为微机器（Micro Machine）；在英国称为微工程（Micro Engineering）。 从狭义的角度来说，微机电系统是指在牛顿力学起作用的范围内,由于尺寸变小而导致物理法则与常规(宏观)系统不同的系统。 从广义的角度来说，微机电系统是指：①本身尺寸很小的系统；②本身尺寸不算小, 但其作用对象很小的系统,如对细胞作业的系统；③利用高集成度原则,把原来笨重设备变成可携式的系统,如袖珍化学分析仪器；④利用微制造技术制造出的产品,如用CVD方法制得的烟火爆炸逻辑回路。 微机电系统研究的目的是通过微型化、集