微机电系统技术基础 课件.pptVIP

微机电系统技术 第四章 微机械执行器 4.1 概述 微执行器是组成微系统的要素之一。微执行器多种多样，都是由许多精细微元件在无尘车间、于显微镜下细致组装而成，是一种活动可控的微机械装置。 在种类繁多的执行器中，占有主导地位的是微电机、微泵和微阀以及微驱动器。 微机械执行器 4.2微电机 1.概述： 微电机是微执行器研究中的重要课题。根据微电机的运动方式，可分为旋转微电机和直线微电机。由于微结构和微尺寸效应，微电机的驱动方式不像传统电机那样采用电磁力驱动，而是采用静电力或压电力驱动，因而其更具有吸引力。 微机械执行器 2.微电机的原理 （1）目前在微机械和器件中使用的微型电动机有两种：直线电动机和旋转电动机。 （2）微型电动机的驱动力主要是静电力。线性电动机内相互错开的的电极产生滑动力，促使产生要求的相对运动。原理如下图 微机械执行器 2.微电机原理续 由上图可知，两块基板初始时错开了W/3的距离。固定下面的基板，而上面的基板可以在水平面上相对上基板滑动。 首先给电极A，A’加电压会驱动上面的基板向左移动，直至A，A’完全对齐为止，这时，基板B，B’间也错开了相同的距离W/3，一直持续下去，直到最后一对电极对齐为止。 综上所述，上下两块基板上，按合适的间距安装几组电极，就可以产生需要的静电力，促使两组基板发生相对运动。 微机械执行器 4.2.1 静电力驱动变