薄膜光学第十四、五讲、光学薄膜(真空)制备工艺.pptVIP

第十四、五讲、光学薄膜(真空)制备工艺 一、真空系统及测量 二、蒸发技术 三、控制系统 四、辅助系统 五、薄膜材料 六、光学薄膜的依附体——基板 七、薄膜的检测 六、光学上常用的基板 一)、玻璃 2、有色玻璃 有色玻璃和镀膜在曲线上的区别 3、普通玻璃 二)、光学塑料 1、光学塑料的应用 2、 常见的光学塑料 3、光学塑料的类型 4、光学塑料的优势 5、光学塑料的缺点 三)、光学晶体 晶体的基本性质 晶体的几个重要的物理性质 光学晶体按用途分的类型 1、nd----指587.7nm(氦黄线)处的折射率； 2、nD----指589.3nm(钠黄线)处的折射率； 3、相对色散(阿贝数) vd 、vD ----由nf(486.1nm)和nc(656.3nm)确定： vd= (nd -1)/(nf -nc) vD= (nD-1)/(nf - nc) 无色光学玻璃一些技术指标 无色光学玻璃的分级 玻璃按下列各项质量指标分类和分级。 a、折射率、色散系数与标准数值的允许差值； b、同一比中，折射率及色散系数的一致性； c、光学均匀性； d、应力双折射； e、条纹度； f、气泡度； g、光吸收系数； h、耐辐射性能(N系列玻璃)。 根据折射率与标准数值的允许差值，玻璃分为6类。 类别 折射率nd允许差值 类别 折射率nd允许差值 00 ±2×10-4 2 ±7×10-4 0 ±3×10-4 3 ±10×10-4 1 ±5×10-4 4 ±20×10-4 玻璃的光学均匀性以一块玻璃中各部位间的折射率微差最大值Δ nmax表示时，按下表分为4类。 类别 折射率最大微差，Δnmax H1 ±2×10-6 H2 ±5×10-6 H3 ±1×10-5 H4 ±2×10-5 ? 它主要是滤光作用，有时候替代镀膜，有时候和薄膜组合。按照着色原理可以分为胶态着色和离子着色有色玻璃两类。通过加入不同的吸收离子，我们可以得到各种各样颜色的玻璃。 我们在用的蓝玻璃就是一种有色玻璃，HOYA叫CM5000，肖特叫BG38、BG39等，国际、国内均有一些专业的有色玻璃生产商。 如青板玻璃，是由于加了0.08~0.12%的氧化铁的缘故；二价、三价铁分别在1100nm和380nm处构成吸收带，吸收了部分红光和青光；它的折射率n=1.515。 白板玻璃、超白玻璃等均要归入此列。 4、特殊玻璃 特殊玻璃可以包括 A、耐辐射玻璃； B、石英玻璃； C、隔热玻璃； D、微晶玻璃； E、耐热玻璃； F、硬质玻璃等。 塑料是一种以合成树脂或天然树脂(一般为高分子聚合物)为基本成分，在加工过程中，可塑制成型，产品最终能保持形状不变的材料。光学塑料乃是一种可以与玻璃竞争的透明塑料。它具有一定的光学特性、机械特性和化学特性，能满足光学零件的要求，从而逐渐构成光学三大基本材料之—(玻璃、光学晶体和光学塑料)。 塑料是什么？ 目前，光学塑料的应用大致分为三大类。 A、塑料透镜(包括工业、仪器用透镜、眼镜、接触眼镜、非球面透镜、棱镜和菲涅耳透镜等)； B、光盘及光学纤维； C、其它功能性光学塑料元件。 其应用范围、越来越广。 在世界范围内，光学塑料品种已有上百种，但真正用到工业开发，应用面广的品种并不多，据统计约十多种，如PMMA、PS、PC、SAN、CR一39、TPX等。 各种文献中报道的新品种非常多，日本就有了s—16、KT一153、TS一26等。日本还开发出了一种聚烯烃树脂，是用作光盘的新材料，它的相对密度小，仅1.01，耐热性好(Tg为140℃)，透光率为90％。 光学塑料的发展可谓日新月异。 据受热后的性能变化，光学塑料可分为两大类。 ①热塑性光学塑料：热塑性塑料是指可以多次反复加热仍有可塑性的塑料，如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚苯乙烯(PS)、聚碳酸酯(PC)均属热塑性塑料。 ②热固性光学塑料：热固性塑料是由加热固化的合成树胳制成的塑料，常见的如CR一39树脂镜片，环氧光学塑料。 A、成型方便，成本低(约为玻璃的1/10~1/30)； B、耐冲击强度高(光学塑料的冲击强度可达25×103N·m/m2，比光学玻璃大10倍．经得起撞击和跌落，不易破损)； C、相对密度小： 光学塑料的相对密度为0.83~1.46，而玻璃的相对密度为2.5~3.0，即塑料比玻璃轻一倍，这对军用光学仪器有特殊意义。 D、透光率好(可见区和玻璃一样，在紫外和红外区比玻璃好) ①折射率温度梯度大：约为2×10-4/℃，对于光学系统来说是特别不利的； ②热膨胀系数比玻璃大10倍左右； ③导热性和耐热性差，软化温度低，易变形，加热时会变形和分解； ⑦不耐有机溶剂； ⑧耐磨性差； ⑥吸湿性严重； ⑦光学塑料的折射