压电式高频振动台的研制-计量学报.pdf

第３３卷　第４期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３３，№４ ２０１２年　７月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｊｕｌｙ，２０１２ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１２．０４．０３ 压电式高频振动台的研制 １ １ ２ 杨丽峰 ，　于　梅 ，　徐爱华 （１中国计量科学研究院，北京 １０００１３；　２湖北省计量测试技术研究院，湖北 武汉４３８７００） 摘要：根据高频振动基准装置的研究现状和应用需求，研究了压电式高频振动台的优化设计方案，并对压电式 高频振动台在设计中的几个重要问题：高频台各组成部分的功能及选择、压电叠堆设计参数的优化、接触界面对振 动台性能的影响与预应力的选择及影响等进行了分析。研制了新型压电式高频振动台，其工作频率为２～５０ｋＨｚ， 最