低温磁控溅射有机衬底跟玻璃衬底znoal透明导电膜的结构新.pdfVIP

( ) A 　辑 　　　　 　 中 　国 　科 　学 　　 第 31 卷 　第 9 期 SCIENCE IN CHINA ( Series A) 　 2001 年 9 月 低温磁控溅射有机衬底和玻璃衬底 ZnO :Al 透明导电膜的结构及特性 郝晓涛 　马　瑾　马洪磊　田茂华　曹宝成　叶丽娜 ( 山东大学光电材料与器件研究所, 济南 250100) 程传福　滕树云 ( 山东师范大学物理系,济南 250014) 摘要 　　利用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底和 7059 玻璃衬底上制备出了具有良 ( ) 好附着性的低电阻率的 ZnO :Al 透明导电膜 ,对在低温 25 ～210 ℃ 下制备薄膜的结 构和光电特性进行了比较研究. 铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜 ,具有六角纤锌矿结 ( ) - 3 - 4 Ω 构 ,最佳取向为 002 方向. 薄膜的最低电阻率分别为 1. 0 ×10 和 8. 4 ×10 ·cm , 在可见光区的平均透过率分别达到了 72 %和 85 %. 关键词 　　有机衬底 　ZnO :Al 　透明导电膜 ( ) 近年来 ,氧化锌 ZnO 透明导电膜得到了非常广泛的研究. 氧化锌薄膜相对于 ITO 和 SnO 而言 ,具有价格便宜 ,沉积温度相对较低和在氢气氛下更好的稳定性等优点[1 ,2 ] . 作为一 2 种重要的光电子信息材料 ,氧化锌透明导电膜优良的光电特性使其在太阳能电池、液晶显示 器、热反射镜等领域得到广泛的应用. 铝掺杂的氧化锌透明导电膜在可见光区内具有高的透射率和低的电阻率 ,尤其是其光学带 隙可以由铝掺杂的比例进行控制[3 ,4] . 有机薄膜衬底上制备的 ZnO :Al 透明导电膜具有可挠曲、 重量轻、不易碎、易于大面积生产、便于运输和设备投资少等独特的优点. 这种薄膜可广泛应用 于制造柔性发光器件、塑料液晶显示器和柔性衬底非晶硅太阳能电池 ,可用作透明电磁屏蔽及触 敏覆盖层等 ,还可作为透明隔热保温材料用于塑料大棚、汽车玻璃和民用建筑玻璃贴膜. 目前报道的柔性衬底ZnO :Al 透明导电膜几乎都是用磁控溅射法制备得到的[1 ,5 ,6 ] . 由于 在溅射过程中 ,溅射离子的能量较高 ,高能离子淀积在衬底上进行能量转换 ,产生较高的热能 , 使得溅射薄膜与衬底具有良好的附着力 ,而且溅射镀膜密度高 ,针孔少 ,薄膜性能良好[7 ] . 本 ( ) 文中采用射频磁控溅射的方法 ,在有机薄膜聚酰亚胺 polyimide , PI 衬底和玻璃衬底上低温制 备出高质量的 ZnO :Al 透明导电膜 ,并对薄膜的结构特性、表面形貌和光电特性进行了比较研 究. 　　收稿 收修改稿 ( ) 　　 国家自然科学基金资助项目 批准号 : 　 Email : haoxt @263. net © 1995-2004 Tsingh