手动多功能椭圆偏振测厚仪等设备采购挂网-试验室及设备管理处.docVIP

重庆大学手动多功能椭圆偏振测厚仪等设备采购 我校拟采购手动多功能椭圆偏振测厚仪等设备一批，相关要求如下： 序号 仪器设备名称 技术参数 单位 数量 备注 1 手动多功能椭圆偏振测厚仪 1.测量薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10 2.测量最小值：1nm 3.入射光波长：632.8nm 光学中心高：80mm 4.允许样品尺寸：Φ10-Φ140mm，厚度15mm 5.偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05° 6.测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±0.5nm和±0.005 7.入射角连续调节范围：20°- 90°精度为0.05° 8.上位机及配套软件、电控系统打印机 上位机：品牌机，CPU: 酷睿i3，3.0GHz，三级缓存3MB， 显卡：ATI 8350，1G独显，4GB内存500G硬盘DVD光驱，有线鼠标，有线键盘，VGA\DVI双输出接口。 打印机:HP黑白激光打印机 套 2 2 自动椭圆偏振测厚仪 1、测量透明薄膜厚度范围1-4000nm，折射率1.30-10 ； 2、起偏器、检偏器、1/4波片刻度范围0°-360°； 3、测量精度：±2nm； 4、入射角30°-90°，手动调节，步进5°； 5、样品台尺寸：Φ160mm； 6、软件：用户权限设置；多个测量项目；多种测量方式；多种数据分析方法；椭偏数据理论计算及显示；测量数据 的分析、计算、