检测技术WSL-第08讲电压型传感器-02压电式.ppt

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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 二、压电元件的连接方式 §3 压电式传感器等效电路 压电元件串联适合于 输出,压电元件并联适合于 输出 压电元件串联电荷 ,并联电荷 。(增大、不变、减小) 电容?电压? 当压电晶体承受应力作用时,在其两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。 压电传感器看成一个电荷源与电容并联的电荷发生器。 电容量为 三、压电式传感器的等效电路 §3 压电式传感器等效电路 1、电荷源等效电路 q Ca 电荷源等效电路 当两极板聚集异性电荷时,板间就呈现出一定的电压。 压电传感器也可看成一个电压与电容串联的电压源。 电压为 三、压电式传感器的等效电路 §3 压电式传感器等效电路 2、电压源等效电路 电压源等效电路 Ua Ca 实际使用时,压电传感器通过导线与测量仪器相连接,连接导线的等效电容CC、前置放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci对电路的影响就必须一起考虑进去。当考虑了压电元件的绝缘电阻Ra以后,压电传感器完整的等效电路可表示成电压等效电路和电荷等效电路。 三、压电式传感器的等效电路 §3 压电式传感器等效电路 3、实际使用的电荷源和电压源等效电路 等 效 电压 源 等 效 电荷 源 这两种等效电路是完全等效的。 前置放大器的作用: 一是将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出;二是放大传感器输出的微弱电信号。 压电式传感器本身内阻抗很高,输出电信号很微弱,通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中,经过阻抗交换以后,方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中。 §4 压电式传感器测量电路 前置放大器的形式: 一般有两种电路,一种是用电阻反馈的电压放大器,其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比;另一种是用带电容板反馈的电荷放大器,其输出电压与输入电荷成正比。 高阻抗输入的前置放大器是测量电路的关键。 电荷放大器电路的电缆长度变化的影响不大,几乎可以忽略不计,故而电荷放大器应用日益广泛。 一、电压放大器(阻抗变换器) §4 压电式传感器测量电路 1、电压放大器电路原理 输入等效电路 (1)压电传感器不能测量静态物理量。 (2)当ωτ1时(工程中认为ωτ3可满足要求),输入电压与信号频率无关。 优点:时间常数一定时,高频响应特性好。 缺点:低频响应差。提高低频响应的办法是增大时间常数,即增大电容或提高输入电阻。 前置放大器输入回路的时间常数为 一、电压放大器(阻抗变换器) §4 压电式传感器测量电路 从传感器的输出电压和电压灵敏度可见,连接电缆的分布电容Ce影响传感器输出电压和灵敏度,使用时更换电缆就要求重新标定,测量系统对电缆长度变化很敏感,这是电压放大器的缺点。 因此,压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换,否则将引入测量误差。 解决电缆分布电容的影响和低频响应差的缺点可采用电荷放大。 2、传感器电压灵敏度 运算放大器输入阻抗极高, 放大器输入端几乎没有分流,故可等效成略去Ra和Ri并联电阻的电路。 二、电荷放大器 §4 压电式传感器测量电路 电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的前置放大器。利用电容作反馈元件的深度负反馈的高增益运放。 通常A=104~108,当满足(1+A)CrCa+Cc+Ci时,则有 1、电荷放电器输出电压 电荷放大器等效电路 反馈电容Cr折合到放大器输入端的有效电容为(1+A)Cr。电荷放大器的输出电压为 二、电荷放大器 §4 压电式传感器测量电路 电荷放大器输出电压 2、电荷放电器的特点 (1)电荷放大器的输出电压只取决于输入电荷与反馈电容,与电缆电容无关,且与电荷成正比。 (2)采用电荷放大器时,即使连接电缆长度在百米以上,灵敏度也无明显变化,这是电荷放大器的最大特点。 (4)为了得到必要的测量精度,要求反馈电容Cr的温度和时间稳定性都很好。在实际电路中,考虑到不同的量程等因素,Cr的容量做成可选择的,范围一般为102~104pF。 (3)电路复杂,价格昂贵。 §5 压电式传感器应用 压电式传感器主要测量动态力、机械冲击和振动,在声学、医学、力学、导航方面应用广泛。 1、压电式力传感器 压电式单向测力传感器的结构,主要由石英晶片、 绝缘套、电极、上盖及基座等组成。 传感器上盖为传力元件,外缘壁厚为0.1~0.5mm,当外力作用时,产生弹性变形,将力传递到石英晶片上。利用压电效应,实现力-电转换。 石英晶片的尺寸为φ8×1mm。该传感器的测力范围为0~50N,最小分辨率为0.01N,固有频率为50~60 kHz,整个传感器重为10 g。 §5 压电式传感器应用 2、压电式加速度传感器 压电式

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