贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测定方法-中国有色金属标准质量.docVIP

GB/TXXXXX-201X PAGE 2 ICS 77.150.99 ICS 77.150.99 H68 ? ? GB/T XXXXX-201X 贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测定方法 Method of coating thickness measurement for precious metal composites by SEM 预审稿  201X-XX-XX 发布 201X-XX-XX 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发 布 前 言 虽然扫描电子显微镜是一种分辨率很高的设备，但是受到制样技术的限制，使用扫描电镜来测量薄金属覆层的厚度依旧是一个难题。尤其是当覆层低于1μm时使用传统的机械制样方法很难得到完好可测的覆层截面。近年来随着新型贵金属复合材料的覆层厚度越来越薄，其覆层厚度测量的问题急需解决。本标准在保留传统厚截面制样技术的前提下采用最新的聚焦离子束技术，有效解决了薄覆层截面制备的难题。针对不同覆层厚度样品采用不同的截面制备方法使得该标准具有广泛的适用范围，可测覆层厚度范围达到10nm~200μm。 其它金属复合材料的覆层厚度测量可参照此标准执行 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。 本标准负责起草单位：贵研铂业股份有限公司、