溶胶凝胶制程及产物.ppt

* * 透明導電氧化物(TCO)薄膜製程實驗 課程教學大綱 1. 溶膠凝膠法製備氧化物薄膜 2 氧化物半導薄膜之低溫結晶化製程 3 奈米電池之電極層製備 4. 奈米光電池的封裝與特性量測。 第一單元 :溶膠凝膠法製備氧化物薄膜 一.實驗目的： 介紹溶膠凝膠法之原理及其在氧化物薄膜(ZnO)製備方面的應用。同學可藉由氧化物溶液的合成、氧化物溶膠的旋塗與熱處理，學習應用化學濕式製程製備氧化物薄膜。 授課內容 溶膠凝膠法原理 氧化物溶膠的合成與熱分析 非晶態氧化物薄膜的塗佈與結晶化 二.實驗原理與機制： 溶膠凝膠法是以無機聚合反應為基礎，以金屬醇氧化物或無機金屬化合物為前驅物來源，以水為水解劑、醇為溶劑來製備無機高分子化合物。在溶液前驅物進行水解、聚縮反應，形成微小粒子，而變成溶膠(凝膠是指內部網狀結構的固體包含著液態成分，使得固體、液體都能同時存在高分散的狀態) ，微小粒子繼續反應連結在一起，溶膠就凝固化成凝膠。水解和縮合與溫度、前驅物、氣氛、溶劑和添加劑有相當的關係，最後網狀氧化物的結構、型態取決於水解、聚縮反應的結果。 溶膠凝膠法 均勻顆粒 凝膠化 溶膠 凝膠 氣凝膠 乾凝膠 陶瓷體 加熱 乾凝膠膜 緻密薄膜 薄膜功能 導電性 感測性 催化性 介電性 保護性 抗反射 溶劑揮發 溶膠凝膠製程及產物 加熱 奈米粉體 成型 揮發 旋轉塗佈法示意圖 旋轉塗佈法是