纳米薄膜材料.pdf

纳米薄膜材料 一、 薄膜简介 二、 纳米薄膜材料的功能特性 三、 纳米薄膜材料制备技术 一、薄膜简介 1、发展历史  历史：其制备与应用可追溯到一千多年以前，但真正 作为一门新型的薄膜科学与技术，是近30年来的事。  发展概况：近20年来，薄膜科学发展迅速，在制备技 术、分析方法、结构观察和形成机理等方面的研究都 取得了很大进展。其中无机薄膜进展迅速。  目前的地位： （1）薄膜材料已是材料学领域中的一个重要分支。它 已涉及物理、化学、电子学、冶金学等学科，有着十 分广泛的应用，尤其是在国防、通讯、航空、航天、 电子工业、光学工业等方面有着特殊的应用，它已成 为材料学中最为活跃的领域之一，并逐步形成为一门 独立的学科“薄膜学”。 （2 ）薄膜技术目前还是一门发展中的边缘学科， 其中不少问题还正在探讨之中。  薄膜的性能多种多样:有电性能、力学性能、光 学性能、磁学性能、催化性能、超导性能等。 因此，薄膜在工业上有着广泛的应用，并在现