半导体材料第二章 .ppt

第二章 半导体材料制备理论基础 2.1 相 图 2.1.1 基本概念 1 系统 系统就是我们所选择的研究对象，除了系统以外的一切物质都叫环境。 举例：对于用提拉法生长单晶硅来说，如果是为了研究晶体与熔体之间的各种关系，则晶体和熔体两者就是系统，而加热器，循环冷却水，炉内的保护气氛等都算环境；如果为了研究晶体、体和气氛三者之间的相互关系，则晶体，熔体和气氛三者作为系统，其余的都算环境， 系统与环境是人为确定的，两者并不是固定不变的，这主要是由所选择的研究对象而定。 2 相 定义：物质的存在形式，包括物态（固、液、气）和晶格结构。 把具有相同物理性质和化学性质的一个子系统称为一个相。或者说系统中具有相同成分、结构和性能的均匀部分的总和称为相。 举例：生长硅单晶系统中，生长出的硅晶体称为固相，熔体则称为液相；石墨与金刚石；半导体性质的灰锡与金属特性的白锡。 描述相的变量：温度，压强和组分（热力学） 根据相的定义可知，相与相之间有界面，各相可以用机械方法加以分离，越过界面时性质发生突变。 相和物质的数量和多少无关，和物质是否连续无关。 例：硅锭，无论有多少块都属于一个相。 相的几个特征 1 一个相中可以包含几种物质，也就是几种物质可以形成一个相。例如固溶体，属于一个相，但是可以含有多种元素。 2 一种物质可以有几个相（硅可以是液相的，固相的或者气相的） 3