传感器原理--公开课件.pptVIP

第一章 温度传感器 v定义： 温度传感器是一种将温度变化转换为电学量变化的装置。 v用途： 用于检测温度和热量，也称为热电式传感器。 v重要性： 与生活、科研、生产密切相关。 应用最广泛。 温度传感器分类 v将温度T变化转换为电阻变化的元件，主要有金属热电阻、半导体热电阻、陶瓷热敏电阻(NTC、PTC、CTR) 和高分子热敏电阻； v将温度变化 -------电势的传感器，主要有热电偶和PN结式传感器； v将热辐射-------电学量的器件，有热释电探测器、红外探测器； v集成温度传感器、光纤温度传感器、液晶温度传感器、智能温度传感器等 1.1 电阻型温度传感器 1.1.1 热电阻 1.1.1 热电阻 1.1.1 热电阻 1.1.1 热电阻 1.1.1 热电阻 1.1.1 热电阻 二、热电阻的结构及测量电路 1、结构： 组成：感温元件、内引线、绝缘套管、保护套管和接线盒。 将电阻丝无感双线绕在云母、石英、陶瓷、塑料等绝缘架上，固定后外面再加上保护套管。 2、测量电路： 用精度较高的电桥电路。 两线制连接方式存在的问题：引线电阻 为消除连接导线电阻随环境温度变化 而造成的测量误差，常采用三线和四线连接法。 三、热电阻温度计的总结 1.1.2 热敏电阻 一、热敏电阻特性参数 二、正温度系数热敏电阻(PTC) 三、NTC热敏电阻 用Mn、Co、Ni、Fe等过渡金属氧化物按比例混合，采用陶瓷工艺制备。 1.1.2 热敏电阻 四、CTR热敏电阻 指在某一温度附近电阻值发生突变，于几度的狭小温区内，随温度的增加阻值降低3～4个数量级的元件。 阻值的突变点为临界温度点。 五、热敏电阻的结构及其特点 1.1.3 半导体热电阻温度传感器 利用电阻率随温度变化的特性制成温度传感器。 一、工作原理 1.1.3 半导体热电阻温度传感器 1.1.3 半导体热电阻温度传感器 1.1.3 半导体热电阻温度传感器 1.1.3 半导体热电阻温度传感器 2.电阻率与温度的关系 二、硅热电阻的结构和工艺 工艺： 掺杂 v离子注入 v扩散 金属层 v腐蚀基体形成浅槽 v磁控溅射Ti/Pt/Au(Ag) v超声剥离金属层 v压焊 三、硅热电阻的特性 §1.2 热电偶 热电偶： 利用两种不同的金属连接在一起，当结点处温度变化时，另两端产生电势变化的原理制成的传感器。 1.2.1 热电偶的基本原理 1.2.1 热电偶的基本原理 1.2.1 热电偶的基本原理 二、热电偶的基本定律 一、热电极材料特性 二、热电偶的种类 三、热电偶的结构 四、热电偶的冷端温度补偿 1.3 半导体PN结型温度传感器 1.3.1 PN结型温度传感器 二、晶体管温度传感器 1.3 半导体PN结型温度传感器 1.3 半导体PN结型温度传感器 1.4.2 热敏电容 1.4.3 石英温度计 1.4.5 超声波温度传感器 1.4.6 谐振式温度计 1.4.7 音叉式水晶温度传感器 1.4.8 光纤温度传感器 v 原理：利用物体在波长λ1和λ2两种单色辐射强度比值随温度T变化来测量。 v 误差小。 v 常用于炼钢、轧钢过程中温度的准确测量。 四、比色温度计(双色温度计) 光电器件 光敏电阻：100～700oC 光电池： 700o以上 1.4 其它温度传感器 工作原理: (BaSr)TiO3 (钛酸锶钡)系列陶瓷电容器的静电容(介电常数)随温度T变化。 高介电常数的陶瓷材料： 钛酸锶 [SrTiO3,k=200)] 钛酸锶钡 [(BaSr)TiO3,k=200] 锆钛酸铅 [Pb(Zr,Ti)O3,k=1000]，(锆gao) 1.4 其它温度传感器 如TI公司(德仪)开发的采用BST（BaSr）TiO3 热电材料的产品和Honeywell公司使用二氧化钒（VO2）材料的热辐射计型产品都已达到实用化程度。 （BaSr）TiO3陶瓷电容传感器的静电容-温度特性 1230℃以上静电容与温度的关系曲线 1.4 其它温度传感器 v 某晶向的石英振子的共振频率随温度T直线变化。 v 直接输出准数字信息。 1.4 其它温度传感器 工作原理： 根据温度引起的振荡