重庆职业病防治院建设项目职业病危害评价报告信息网上公开表一.docVIP

PAGE 第 PAGE 9 页 共 NUMPAGES 9 页 重庆市职业病防治院 建设项目职业病危害评价报告信息网上公开表 一、评价报告基本情况 报告编号 渝职防预评字〔2016〕第08号 评价类别 预评价 项目名称 12英寸功率半导体芯片制造及封装测试生产基地项目 风险类别 严重 报告编制人 张立 建设单位 重庆万国半导体科技有限公司 建设单位联系人 戚远林 项目地理位置 重庆市两江新区水土高新技术产业园 现场调查人员 张立、汪运 调查时间 2016.09.14 采样、检测人员 —— 采样检测时间 —— 建设单位陪同人员 戚远林 报告评审专家 蒋学明荣、梁道康、王华、雷勇、黄进 评审时间 2017.03.08 二、项目简介 重庆万国半导体科技有限公司成立于2016年，由美国万国半导体股份有限公司（AOS）与渝富集团、两江新区战略性新兴产业股权投资基金合资经营。 美国万国半导体（ALPHAOMEGA Semiconductor，简称“AOS公司”）成立于2000年，总部位于美国硅谷，是一家集半导体设计、晶圆制造、封装测试为一体的企业，主要从事功率半导体器件(含功率MOSFET、IGBT和功率集成电路产品)的产品设计和生产制造。目前AOS公司在美国俄勒冈有一座8英寸晶圆厂、在上海松江有二座封装工厂，在美国硅谷、台湾、上海均设有研发中心，拥有一批技术领先的功率半导体领域专业研究团队。其产品市场涉及笔记本电脑、液晶电视、手机、家电、通讯设备、工业控制、照明应用、汽车电子等领域。主要客户包括三星、LG、飞利浦、Intel、东芝、西部数据、惠普、Sony、戴尔、联想、比亚迪、长虹等全球知名品牌商。 三、建设项目（用人单位）存在的职业病危害因素及检测结果 通过工程分析，拟建项目生产过程中可能产生或存在的职业病危害因素有硫酸、磷酸、硝酸、盐酸、氨气、氯气、氟气、氪气、氮气、氢气、一氧化碳、二氧化碳、一氧化氮、二氧化氮、二氧化硫、二氧化锡、二氧化硅、三氯化硼、四氟化碳、甲基磺酸、甲基磺酸锡、甲醇、氢氧化钾、氢氧化钠、苯酚、甲醛、异丙醇、丙酮、氟化氢、溴化氢、砷化氢、磷化氢、硫化氢、过氧化氢、一氧化二氮、二氟甲烷、三氟化氮、六氟化钨、正硅酸乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯、八氟环戊烯、1，4-丁二醇二缩水甘油醚、乙二醇、松油醇、硅烷、硼烷、砷烷、氯硅烷、氯化钙、次氯酸钠、六甲基二硅胺、二氢呋喃、乙酸丁酯、酚醛树脂、乳酸乙酯、醋酸乙酯、柴油、臭氧、甲烷、金属镍与难溶性镍化合物、乙醇、其他粉尘（硅粉尘）、铜尘、噪声、高温、工频电场、激光辐射、χ射线等。 职业病危害因素及分布情况一览表 序号 评价单元 岗位/工序 作业 方式 可能存在或产生的 职业病危害因素 备注 1 芯片 厂房 化学品供应单元 酸性化学品房 巡检 硫酸、磷酸、硝酸、盐酸、过氧化氢、氟化氢 根据生产负荷，作业人员对供气气瓶进行更换，更换频率为每日2次，每次更换时间2-3分钟。在正常情况下，作业人员均不直接接触化学毒物。但是在更换气瓶操作不当或出现意外、维修以及发生管道、容器“跑、冒、滴、漏”等突发事件，作业人员可短时间大量接触。 有机化学品房 巡检 异丙醇、丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇、六甲基二硅胺、光阻剂（酚醛树脂、乳酸乙酯、醋酸乙酯）、清洗剂（异丙醇、烷烃） 碱性化学品房 巡检 氨气、显影液（二氢呋喃、乙酸丁酯） 碱性气体房 巡检 氨气 腐蚀性气体房 巡检 氯气、氟气、氪气、三氯化硼、盐酸、溴化氢、八氟环戊烯、六氟化钨、三氟化氮、一氧化二氮、二氟甲烷 大宗气体房 巡检 氮气、氢气、二氧化碳 可燃气体房 巡检 一氧化碳 毒性气体房 巡检 硼烷、磷化氢、砷烷、氯硅烷 硅烷站 巡检 硅烷 洁净生产单元 蚀刻区 巡检 氟化氢、氯气、四氟化碳、溴化氢、丙酮、异丙醇、蚀刻液（硝酸、氢氟酸） 洁净区作业人员会使用丙酮、异丙醇擦拭地面，可通过皮肤和呼吸道直接接触。但用量小、范围小、频率低。建议工艺允许情况下不采用丙酮和异丙醇擦洗。 清洁区 巡检 氟化氢、盐酸、丙酮、异丙醇 研磨区 巡检 过氧化氢、氨气、硫酸、丙酮、异丙醇、研磨液（二氧化硅） 黄光区 巡检 丙酮、异丙醇、光阻剂（酚醛树脂、乳酸乙酯、醋酸乙酯） 薄膜区 巡检 氟化氢、正硅酸乙酯 人工更换HF气瓶。 扩散区 巡检 砷化氢、磷化氢、三氟化硼、丙酮、异丙醇、χ射线 离子注入机可产生电离辐射，射线种类为χ射线。设备自带防护设施，设备壁内侧采用铅板防护，并对放射源进行了有效屏蔽。 2 封装厂房 背面减薄 巡检 噪声、其他粉尘（硅粉尘） 研磨机在进行研磨减薄过程中会产生噪声和其他粉尘（硅粉尘）。 背面处理 氟化氢、硫酸、硝酸、一氧化氮、二氧化氮 硅腐蚀液中含有氟化氢、硫酸、硝酸，清洗过程中会产生酸性废气。 背面金属蒸发 高温、金属镍与难溶性镍化合物