集成传感器1应变式传感器.pptVIP

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电阻式传感器 电阻式传感器 电阻式传感器 两大常用类型 电阻应变片的基本结构 电阻应变片的基本结构 利用金属或半导体材料电阻丝(也称应变丝)的应变电阻效应,可以制成测量试件表面应变的敏感元件。为在较小的尺寸范围内敏感应变,并产生较大的电阻变化,通常把应变丝制成栅状的应变敏感元件,使用时将其黏贴在待测量物体上,即电阻应变计,简称应变计。 电阻应变片的材料 制作应变片敏感栅常用的金属材料有康铜、镍铬合金、铁铬铝合金、贵金属(铂、铂钨合金等)材料等,其中康铜是目前应用最广泛的应变丝材料。 除敏感栅以外,对基底材料、粘结剂、引线的材料方面都有要求,可以根据应用对象的不同进行选择。 电阻应变片的选用 选用应变计时,首先应根据使用的目的、要求、对象及环境条件等,对应变计的类型进行选择;然后根据使用温度、时间、最大应变量及精度要求,选用合适的敏感栅、基底材料的应变计; 接着根据测量线路或仪器选择合适应变计的标准阻值; 最后还应根据试件表面可贴应变片的面积大小选择合适尺寸的应变计。 电阻应变片的粘贴 电阻应变片工作时,是用粘贴剂粘贴到被测试件或传感器的弹性元件上的。粘贴剂形成的胶层必须准确迅速地将被测应变传递到敏感栅上去,所以粘贴剂以及粘贴技术对于测量结果有着直接的影响。 电阻应变片的工作原理 电阻应变片的工作原理 电阻应变片的工作原理 电阻应变片的工作原理 电阻应变片的种类 电阻应变片的种类 电阻应变片的种类 电阻应变片的种类 电阻应变片的种类 电阻应变片的种类 固态压阻式传感器 半导体单晶硅材料在受到外力作用,产生肉眼根本察觉不到的极微小应变时,其原子结构内部的电子能级状态发生变化,从而导致其电阻率剧烈的变化,由其材料制成的电阻也就出现极大变化,这种物理效应叫压阻效应。 利用压阻效应,采用三维集成电路工艺技术及一些专用特殊工艺,在单晶硅片上的特定晶向,制成应变电阻构成的惠斯登检测电桥,并同时利用硅的弹性力学特性,在同一硅片上进行特殊的机械加工,集应力敏感与力电转换检测于一体的力学量传感器,称为固态压阻传感器。以气、液体压强为检测对象的则称为固态压阻压力传感器。 固态压阻式传感器 主要特点: 1. 灵敏度高 2. 精度高 3. 体积小、重量轻、动态频响高 4. 性能稳定、可靠性高 5. 温度系数小 6. 适应介质广 7. 安全防爆 在以大规模集成电路技术和计算机软件技术为特色的智能传感器技术中,由于它能做成单片式多功能复合敏感元件来构成智能传感器的基础,因此倍受瞩目。 电阻应变片的种类 电阻应变片的静态特性 静态特性是指应变计感受不随时间变化或变化缓慢的应变时的输出特性,表征静态特性的指标主要有: 电阻应变片的静态特性 电阻应变片的静态特性 3. 机械滞后 电阻应变片的静态特性 电阻应变片的静态特性 6. 绝缘电阻和最大工作电流 测量电路 测量电路 测量电路 测量电路 测量电路 测量电路 测量电路 测量电路 测量电路及温度补偿 测量电路及温度补偿 测量电路及温度补偿 测量电路及温度补偿 应变片的布置与桥接方式 应变片的布置与桥接方式 应变片的布置与桥接方式 电阻应变式传感器的特点和应用 电阻应变片的应用 电阻应变片的应用 电阻应变片的应用 电阻应变片的应用 电阻应变片的应用 作业 作业 直流电桥常见连接形式 半桥单臂 半桥双臂 全桥 半桥单臂: 假设: 半桥双臂: 全桥: 半桥单臂: 半桥双臂: 全桥: 当全桥四个桥臂阻值变化同号时,即: 有: α——敏感栅材料的电阻温度系数;S——敏感栅灵敏度系数;β1 、β2——分别为敏感栅和试件的线膨胀系数; 温度引起的电阻变化总值: 温度升高引起应变片灵敏度下降,电桥输出电压下降;热敏电阻的阻值随温度升高而减小,使电桥的供电电压随温度升高而增加,适当选取分流电阻R0的值,可以补偿由于应变片灵敏度变化引起的输出电压的变化,达到温度补偿。 热敏电阻补偿法原理 利用适当的布片和组桥方式消除温度变化和复合载荷作用的影响,获得最大的输出灵敏度。 1)应变片应布置在弹性元件产生应变最大的位置,并沿主应力方向贴片;贴片处的应变尽量与外载荷呈线性关系(避开非线性区),同时应注意使该处不受非待测载荷的干扰影响。 2)根据电桥的和差特性,选择适当的接桥方式,可以使输出的灵敏度最大,同时又能排除非待测载荷的影响并进行温度补偿。 R1、R3串接,R2、R4串接并置于相对臂,减小弯矩影响;横向贴片作温度补偿。 电阻应变式传感器特点: ①精度高,测量范围广; ②使用寿命长,性能稳定可靠; ③结构简单,体积小,重量轻; ④频率响应较好,既可用于静态测量又可用于动态测量; ⑤价格低廉,品种多样,便于选择和大量使用。 应用范围:用于位移、加速度、力、

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