F-P可调谐滤波器.ppt

腔长的调节是通过在上下两个分布布拉格反射镜上加反偏电压由静电力的作用使腔长收缩从而持续调节滤波器的谐振波长 该滤波器整体为一浮桥结构FP 腔由两个光学反射镜组成一个反射镜位于在硅底层上另一个位于浮桥上反射镜是由厚度为λ/4 的Si 薄膜和SiO2薄膜交替沉积而成的由于Si和SiO2的折射率对比度很大所以由其形成的反射镜的反射率也很高达99 其腔长的调节同前边所讲的MEMS型滤波器一样在顶端和底端两个电极上加一个驱动电压通过静电力的作用来调节所需要的透过波长 * 液晶Freedericksz 电压Uth Urms 对正性液晶材料来说，液晶指向矢会在外电场作用下逐步趋向与外电场平行排列. 当上下表面液晶指向矢平行定向排列时，与液晶盒定向方向平行的e 偏振光有效折射率会在外加电场作用下发生改变，从而e 光峰值波长改变. 与定向方向垂直的o 偏振光有效折射率没有改变，因此峰值波长不变，如图2 中（a）、（b）情况. 当上下表面液晶指向矢90 扭曲定向排列时情况比较复杂，外加电场不但改变了e 光和o 光的有效折射率，而且还使它们之间发生耦合. 我们采用了berreman 4 X 4［9］传输矩阵模拟了90 扭曲定向液晶法-玻腔的电光特性 * NHK实验室Takaaki Saito等 * 对其性能要求主要有：调谐速度快、调谐范围宽、滤波带宽窄、功耗低和价格低。此外，信道间串扰、谐振相关特性、波长的稳定性以及控制的复 杂程度等等，也是其影响系统性能的特性指标 * 线性可变滤波片 （ LVF，Linear variable filters)是在薄膜滤波片制备时利用特殊掩模技术，使薄 膜厚度沿某个方向存在很小的梯度变化，因此当利用微电机带动LVF运动时，光 入射剑LVF上的不同位置，不等的腔长膜厚则产生了不同的干涉输出波长，相当于 级联FP滤波器的腔长调谐。 * 总的来说，货源少、成本高、价格贵是限制可调谐光滤波器广泛应用的重要因素。 * * 光纤FP 滤波器 在两光纤端面镀上高反膜，光纤本身构成F-P腔。压电陶瓷拉伸光纤来调控腔长。 腔长长，FSR较小 光纤端面与中间的空气腔形成F-P腔，压电陶瓷驱动其中之一的腔镜沿轴向运动，对腔长进行扫描。 腔长一般小于10μm ， FSR 较大，插入损耗较大。 * 改进型波导腔FFPF 在空气隙腔滤波器的基础上，腔内加入一段光纤波导，通过调节波导段的长度来调整其FSR（其长度一般100μm 到厘米量级）。 同时这种结构也使第二种FFPF 存在的模式失配和插入损耗较大的问题得到解决。 * 光纤FP 滤波器 光纤Fabry－Perot 滤波器的特点是： 纤入纤出，器件的损耗可以做到比较小，约3dB 左右； FSR 覆盖范围极大，可根据不同的要求以不同的结构来满足其不同的FSR，从MHz 量级到上百个nm； 分辨率较高，精细度可以做到上千； 器件稳定性好，偏振无关；调谐简单。 该滤波器用途较为广泛，在光纤传感系统可用作传感元件进行温度，压强和应力的测量；在光通讯系统中，可作在WDM 系统的解复用，还可用在光纤环形激光器中实现可调谐波长输出，用在掺铒光纤放大器（EDFA）中进行噪声抑制等。 * MEMS（Micro-electro Mechanical Systems微机电系统) F-P可调谐滤波器 该滤波器是通过在F-P两高反镜上微机电驱动装置，加上反偏电压后利用静电力或热应变的作用使腔长收缩而持续调节滤波器的谐振波长。 镜面受到静电力，梁弹性形变产生恢复力，根据力平衡关系得到电压与镜面位移关系。 电动机械滤波器通常由常规半导体技术制成，其调谐速度较慢，在毫秒和微秒之间。 * 液晶光调谐滤波器 在F-P谐振腔内填充液晶材料，利用加电场后液晶分子的晶向排列会发生变化从而改变其折射率，因此可以改变F-P腔的光学厚度，完成对中心波长的调制。 液晶F-P滤波器的精细度较高，调制范围为几十纳米，调制时间在微秒量级。 属于块状结构，不利于与光纤的输入输出耦合;FSR 在50nm 左右；插入损耗在4dB 左右；分辨率在0.17～0.4nm 左右；调谐电压低；偏振态敏感；液晶存在散射损耗与吸收。 * 液晶光调谐滤波器 此滤波器可用作WDMA 光网络系统中的信号解调器，可调谐激光器中的调谐元件，还可以用于光谱成像系统中进行目标识别。 当3Uth U 时，指向矢方向与外加电场方向基本平行，液晶F-P滤波器光学特性与偏振无关，此时o 光e 光有相同的谐振波长. * 波导FP 滤波器 左图是一个Ti:LiNb03 波导滤波器。沿着y 轴方向的Ti 扩散的直波导制作在X 切的LiNb03 衬底上。波导的两端抛光后镀上反射率为89％的绝缘反射膜。滤波器的中心波长是通过在波导上加电压由电光效应